Tabloya Naverokê
1.Pêşdîtin û Fonksiyonên Sereke yên FOUP
2. Taybetmendiyên Avakirin û Sêwirana FOUP
3. Rêbernameyên Dabeşkirin û Serlêdana FOUP
4. Xebat û Girîngiya FOUP di Çêkirina Nîvconductor de
5. Zehmetiyên Teknîkî û Trendên Pêşkeftina Pêşerojê
6. Çareseriyên Xweserkirî û Piştgiriya Xizmetê ya XKH
Di pêvajoya çêkirina nîvconductoran de, Front Opening Unified Pod (FOUP) konteynireke girîng e ku ji bo parastin, veguhastin û hilanîna waferan tê bikar anîn. Hundirê wê dikare 25 perçeyên waferên 300 mm bicîh bike, û pêkhateyên wê yên sereke konteynireke vekirina pêş û çarçoveyeke derî ya taybet ji bo vekirin û girtinê vedihewîne. FOUP di pergala veguhastina otomatîk de di nav fabrîkeyên waferên 12 înç de hilgireke bingehîn e. Ew bi gelemperî di rewşek girtî de tê veguhastin û tenê dema ku ber bi porta barkirina alavan ve tê pêlkirin vedibe, ku dihêle wafer werin veguheztin porta barkirin/dakêşanê ya alavan.
Dizayna FOUPê li gorî pêdiviyên jîngeha mîkro hatiye adaptekirin. Li piştê ji bo danîna waferê qulik hene, û qapax bi taybetî hatiye sêwirandin ku bi kelepçeya vekirinê re li hev bike. Robotên desteserkirina waferê di jîngehek hewaya paqij a Sınıfa 1ê de dixebitin, û piştrast dikin ku wafer di dema veguhastinê de qirêj nabin. Wekî din, FOUP di navbera amûrên pêvajoyê de bi rêya pergala desteserkirina materyalê ya otomatîk (AMHS) tê veguhastin. Kargehên waferê yên nûjen bi piranî ji bo veguhastinê pergalên rêlên jorîn bikar tînin, di heman demê de çend kargehên kevintir dikarin wesayîtên rêberkirî yên otomatîk ên li ser erdê (AGV) bikar bînin.
FOUP ne tenê veguhestina otomatîkî ya waferan pêk tîne, lê di heman demê de fonksiyonek hilanînê jî pêk tîne. Ji ber gelek gavên çêkirinê, dibe ku bi mehan bidome ku wafer tevahiya herikîna pêvajoyê temam bikin. Digel qebareyên hilberîna mehane yên bilind, ev tê vê wateyê ku bi deh hezaran wafer di nav kargehekê de di her kêliyê de bi berdewamî di veguhastinê de an jî di hilanîna demkî de ne. Di dema hilanînê de, FOUP bi periyodîk bi nîtrojenê têne paqij kirin da ku pêşî li têkiliya gemarî bi waferan re bigirin, û pêvajoyek hilberînê ya paqij û pêbawer misoger bikin.
1. Fonksiyon û Girîngiya FOUP
Karê bingehîn ê FOUP ew e ku waferan ji şok û gemarbûna derveyî biparêze, bi taybetî jî ji bandorên li ser berhemê di dema veguhastinê de dûr bixe. Bi rêbazên wekî paqijkirina gazê û Kontrola Atmosfera Herêmî (LAC) bi bandor pêşî li şilbûnê digire, û piştrast dike ku wafer di rewşek ewle de dimînin dema ku li benda gava hilberînê ya din in. Sîstema wê ya mohrkirî û kontrolkirî dihêle ku tenê pêkhate û hêmanên pêwîst bikevin hundir, bandorên neyînî yên VOC, oksîjen û şilbûnê li ser waferan bi girîngî kêm dike.
Ji ber ku FOUP-ek bi tevahî bi 25 waferan barkirî dikare heta 9 kîlograman giran be, veguhastina wê divê bi Pergala Destwerdana Materyalê ya Otomatîk (AMHS) ve girêdayî be. Ji bo hêsankirina vê yekê, FOUP bi kombînasyonên cûrbecûr ên plakayên girêdanê, pîn û kunan hatiye sêwirandin, û bi etîketên elektronîkî yên RFID-ê ve ji bo nasname û dabeşkirina hêsan hatiye stendin. Ev destwerdana otomatîk hema hema hewceyî xebitandina destî nake, rêjeyên xeletiyê pir kêm dike û ewlehî û rastbûna pêvajoya çêkirinê zêde dike.
2. Pêkhate û Dabeşkirina FOUP
Pîvanên tîpîk ên FOUP-ê bi qasî 420 mm firehî, 335 mm kûrahî û 335 mm bilindahî ne. Pêkhateyên wê yên sereke yên avahîsaziyê ev in: OHT-yek jorîn (serê kivarkê) ji bo veguhastina hilgirê jorîn; deriyek pêşiyê ji bo gihîştina waferên alavan; Destgirên alî, ku pir caran bi kodên rengîn têne bikar anîn da ku deverên pêvajoyê yên bi astên qirêjbûnê yên cûda werin cûdakirin; deverek kartê ji bo danîna kartên peyamê; û etîketek RFID-ya jêrîn ku wekî nasnameya bêhempa ji bo FOUP-ê kar dike, dihêle ku amûr û hilgirên jorîn wê nas bikin. Bingeh her weha bi çar kunên nasname û bicihkirinê ve hatî çêkirin da ku bi amûran re li hev bikin û deverên pêvajoyê cûda bikin.
Li gorî bikaranînê, FOUP di sê celeb de têne dabeş kirin: PRD (ji bo hilberînê), ENG (ji bo waferên endezyariyê), û MON (ji bo waferên çavdêriyê). FOUPên PRD dikarin ji bo çêkirina hilberan werin bikar anîn, celebên ENG ji bo R&D an ceribandinan guncan in, û celebên MON ji bo çavdêriya pêvajoyê ji bo gavên wekî CMP û DIFF têne veqetandin. Girîng e ku were zanîn ku FOUPên PRD dikarin ji bo hem armancên ENG û hem jî MON werin bikar anîn, û celebên ENG dikarin ji bo MON werin bikar anîn, lê operasyona berevajî xetereyên kalîteyê çêdike.
Li gorî asta qirêjbûnê, FOUP dikarin wekî FE FOUP (pêvajoya pêşiyê, bê metal), BE FOUP (pêvajoya paşîn, metal tê de heye) û yên ku ji bo pêvajoyên taybetî yên metal ên wekî NI FOUP, CU FOUP, û CO FOUP hatine pispor kirin werin dabeş kirin. FOUP-ên ji bo pêvajoyên cûda bi gelemperî bi rengê destgirên alî an panelên derî têne cûda kirin. FOUP-ên ji pêvajoyên pêşiyê dikarin di pêvajoyên paşîn de werin bikar anîn, lê FOUP-ên paşîn divê qet di pêvajoyên pêşîn de neyên bikar anîn, ji ber ku ev ê bibe sedema xetereyên qirêjbûnê.
Wekî hilgirek sereke di çêkirina nîvconductoran de, FOUP, bi rêya otomasyona bilind û kontrola qirêjbûnê ya hişk, ewlehî û paqijiya waferan di dema pêvajoya hilberînê de misoger dike, û ew dike binesaziyek neçar di kargehên waferên nûjen de.
Xelasî
XKH pabend e ku ji xerîdaran re çareseriyên Front-Opening Unified Pod (FOUP) yên pir xwerû peyda bike, bi hişkî li gorî hewcedariyên pêvajoya weya taybetî û taybetmendiyên navrûya alavan tevbigere. Bi karanîna teknolojiya materyalê ya pêşkeftî û pêvajoyên hilberîna rastîn, em piştrast dikin ku her hilbera FOUP hewagirtin, paqijî û aramiya mekanîkî ya bêhempa peyda dike. Tîma meya teknîkî xwedan pisporiya kûr a pîşesaziyê ye, piştgiriyek berfireh a çerxa jiyanê pêşkêş dike - ji şêwirmendiya hilbijartinê û çêtirkirina avahîsaziyê bigire heya paqijkirin û lênêrînê - entegrasyonek bêkêmasî û hevkariya bibandor di navbera FOUP û Pergala Desteserkirina Materyalê ya Otomatîk (AMHS) ya we û her weha alavên pêvajoyê de misoger dike. Em bi berdewamî ewlehiya waferan û zêdekirina berhema hilberînê wekî armancên xwe yên sereke didin pêşiyê. Bi rêya hilberên nûjen û karûbarên teknîkî yên hemî-berfireh, em ji bo pêvajoyên hilberîna nîvconductor-a we garantiyek xurt peyda dikin, di dawiyê de karîgeriya hilberînê û berhema hilberê zêde dikin.
Dema şandinê: Îlon-08-2025