Digel pêşkeftina domdar a teknolojiya nîvconductor, di pîşesaziya nîvconductor û tewra pîşesaziya fotovoltaîk de, hewcedariyên ji bo qalîteya rûkalê ya substratê wafer an pelê epîtaksial jî pir hişk in.Ji ber vê yekê, pêdiviyên kalîteyê ji bo wafers çi ne?Weke mînakek waferên yaqûtê, ji bo nirxandina qalîteya rûkala waferan çi nîşangir dikarin werin bikar anîn?
Nîşaneyên nirxandina wafers çi ne?
Sê nîşanan
Ji bo waferên yaqûtê, nîşaneyên nirxandina wê guheztina stûrbûna tevahî (TTV), bend (Bow) û Warp (Warp) ne.Van her sê pîvanan bi hev re yekrengî û qalindahiya wafera silicon nîşan didin, û dikarin dereceya şilbûna waferê bipîvin.Ji bo nirxandina qalîteya rûbera waferê, xêzkirin dikare bi şilbûnê re were hev kirin.
TTV, BOW, Warp çi ye?
TTV (Guherîna Tûrahiya Giştî)
TTV ferqa di navbera herî zêde û herî kêm qalindahiya waferê de ye.Ev parametre nîşanek girîng e ku ji bo pîvandina yekrengiya qalindahiya waferê tê bikar anîn.Di pêvajoyek nîvconductor de, divê stûrbûna waferê li ser tevahiya rûxê pir yekreng be.Pîvandin bi gelemperî li pênc cihan li ser waferê têne çêkirin û cûdahî tê hesibandin.Di dawiyê de, ev nirx ji bo dadbarkirina kalîteya wafer bingehek girîng e.
Girêk
Bow di hilberîna nîvconduktorê de behsa qutbûna waferê dike, dûrahiya di navbera xala navîn a waferek neqelandî û balafira referansê de azad dike.Peyv belkî ji ravekirina şeklê heyberekê tê dema ku tê xwarkirin, mîna şiklê kevanekî yê kevan.Nirxa Bow bi pîvandina veqetîna di navbera navend û keviya wafera silicon de tê destnîşankirin.Ev nirx bi gelemperî bi mîkrometre (μm) tê diyar kirin.
Warp
Warp taybetmendiyek gerdûnî ya waferan e ku ferqa di navbera dûrahiya herî zêde û hindiktirîn de di navbera nîvê waferek bêqelpkirî û balafira referansê de dipîve.Dûrahiya ji rûbera wafera silicon heya balafirê destnîşan dike.
Cûdahiya di navbera TTV, Bow, Warp de çi ye?
TTV balê dikişîne ser guheztinên qalindiyê û bi çewisandin an guheztina waferê re eleqedar nabe.
Bow balê dikişîne ser çîçeka giştî, bi giranî bendika xala navendê û qeraxê dihesibîne.
Warp berfirehtir e, di nav de çewisandin û zivirîna tevahiya rûyê waferê.
Her çend ev her sê pîvan bi şikil û taybetmendiyên geometrîkî yên silicon wafer ve girêdayî ne jî, ew bi rengek cûda têne pîvandin û binav kirin, û bandora wan li ser pêvajoya nîvconductor û pêvajoya waferê jî cûda ye.
Her sê pîvan piçûktir, çêtir, û pîvan mezintir, bandora neyînî ya li ser pêvajoya semiconductor mezintir e.Ji ber vê yekê, wekî bijîjkek nîvconductor, divê em girîngiya parametreyên profîla waferê ji bo tevahiya pêvajoya pêvajoyê fam bikin, pêvajoya nîvconductor bikin, divê bala xwe bidin hûrguliyan.
(sansûr)
Dema şandinê: Jun-24-2024