Substrata SiC ya 12 înç Diameter 300mm Stûrî 750μm Cureyê 4H-N dikare were xweşkirin
Parametreyên teknîkî
Taybetmendiya Bingeha Karbîda Sîlîkonê (SiC) ya 12 înç | |||||
Sinif | Hilberîna ZeroMPD Pola (Pola Z) | Hilberîna Standard Pola (Pola P) | Nota sexte (Pola D) | ||
Çap | 3 0 0 mm~1305mm | ||||
Qewîtî | 4H-N | 750μm±15 μm | 750μm±25 μm | ||
4H-SI | 750μm±15 μm | 750μm±25 μm | |||
Rêzkirina Waferê | Ji derveyî eksena: 4.0° ber bi <1120 >±0.5° ji bo 4H-N, Li ser eksena: <0001>±0.5° ji bo 4H-SI | ||||
Tîrbûna Mîkroboriyê | 4H-N | ≤0.4cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Berxwedan | 4H-N | 0.015~0.024 Ω·cm | 0.015~0.028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Rêzkirina Sereke ya Düz | {10-10} ±5.0° | ||||
Dirêjahiya sereke ya dûz | 4H-N | N/A | |||
4H-SI | Notch | ||||
Derxistina Qiraxê | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Kevan /Warp | ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Nermî | Polonî Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Şikestinên Qiraxan Bi Ronahiya Bi Hêz a Bilind Plakên Hex bi Ronahiya Bilind a Intensîteyê Deverên Polîtyp Bi Ronahiya Bilind a Şiddetê Têkiliyên Karbonê yên Dîtbarî Xurandinên Rûyê Silîkonê Ji Ber Ronahiya Bi Hêz a Bilind | Netû Rûbera berhevkirî ≤0.05% Netû Rûbera berhevkirî ≤0.05% Netû | Dirêjahiya berhevkirî ≤ 20 mm, dirêjahiya yekane ≤2 mm Rûbera berhevkirî ≤0.1% Qada berhevkirî ≤3% Rûbera berhevkirî ≤3% Dirêjahiya berhevkirî ≤1 × çapa waferê | |||
Çîpên Qiraxê Bi Ronahiya Bilind a Bi Hêz | Destûr nayê dayîn ≥0.2mm firehî û kûrahî | 7 destûr, ≤1 mm her yek | |||
(TSD) Cihêkirina pêça têlkirinê | ≤500 cm-2 | N/A | |||
(BPD) Dislokasyona balafirê bingehîn | ≤1000 cm-2 | N/A | |||
Gemarbûna Rûyê Silîkonê Ji Ber Ronahiya Bi Hêz a Bilind | Netû | ||||
Pakkirin | Kaseta Pir-wafer an Konteynirê Waferê yê Yekane | ||||
Têbînî: | |||||
1 Sînorên kêmasiyan ji bo tevahiya rûyê waferê derbas dibe, ji bilî devera derxistina qiraxê. 2Xêzik divê tenê li ser rûyê Si werin kontrol kirin. 3 Daneyên dislokasyonê tenê ji waflên gravkirî yên KOH ne. |
Taybetmendiyên Sereke
1. Kapasîteya Hilberînê û Avantajên Mesrefê: Hilberîna girseyî ya substrata SiC ya 12 înç (substrata karbîda silîkonê ya 12 înç) di çêkirina nîvconductoran de serdemeke nû nîşan dide. Hejmara çîpên ku ji waferek yekane têne bidestxistin digihîje 2.25 qat ji substratên 8 înç, ku rasterast di karîgeriya hilberînê de gavek diavêje. Nirxandinên xerîdaran nîşan didin ku pejirandina substratên 12 înç lêçûnên hilberîna modulên hêzê yên wan bi rêjeya %28 kêm kiriye, ku di bazara bi dijwarî reqabetê de avantajeke pêşbaziyê ya diyarker diafirîne.
2. Taybetmendiyên Fizîkî yên Berbiçav: Substrata SiC ya 12 înç hemî avantajên materyalê karbîda silîkonê mîras digire - germahiya wê 3 qat ji ya silîkonê ye, di heman demê de hêza qada şikestina wê digihîje 10 qat ji ya silîkonê. Ev taybetmendî dihêle ku cîhazên li ser bingeha substratên 12 înç di hawîrdorên germahiya bilind ên ku ji 200°C derbas dibin de bi awayekî stabîl bixebitin, ku wan ji bo sepanên dijwar ên wekî wesayîtên elektrîkê bi taybetî guncan dike.
3. Teknolojiya Dermankirina Rûyê: Me pêvajoyek nû ya polîşkirina kîmyayî-mekanîkî (CMP) bi taybetî ji bo substratên SiC yên 12-inç pêşxistiye, ku rûbera asta atomî (Ra<0.15nm) bi dest dixe. Ev pêşketin pirsgirêka cîhanî ya dermankirina rûyê wafera silicon carbide ya bi qutra mezin çareser dike, astengiyên li pêşiya mezinbûna epitaksiyal a bi kalîte bilind radike.
4. Performansa Rêveberiya Germahîyê: Di sepanên pratîkî de, substratên SiC yên 12 înç şiyanên belavkirina germahiyê yên berbiçav nîşan didin. Daneyên ceribandinê nîşan didin ku di bin heman dendika hêzê de, cîhazên ku substratên 12 înç bikar tînin di germahiyên 40-50°C kêmtir de ji cîhazên li ser bingeha silîkonê dixebitin, ku temenê karûbarê alavan bi girîngî dirêj dike.
Serlêdanên Sereke
1. Ekosîstema Wesayîtên Enerjiyê yên Nû: Substrata SiC ya 12 înç (substrata karbîda silîkonê ya 12 înç) mîmariya pergala hêza wesayîtên elektrîkê şoreş dike. Ji şarjkerên li ser panelê (OBC) bigire heya veguherînerên ajotina sereke û pergalên rêveberiya bateriyê, başbûnên karîgeriyê yên ku ji hêla substratên 12 înç ve têne çêkirin, rêça wesayîtê bi rêjeya 5-8% zêde dike. Raportên ji hilberînerek otomobîlan a pêşeng nîşan didin ku pejirandina substratên me yên 12 înç windabûna enerjiyê di pergala wan a şarjkirina bilez de bi rêjeya balkêş a 62% kêm kiriye.
2. Sektora Enerjiya Nûjenkirî: Di santralên elektrîkê yên fotovoltaîk de, veguherînerên ku li ser substratên SiC yên 12 înç hatine çêkirin ne tenê xwedî faktorên forma piçûktir in, lê di heman demê de karîgeriya veguherînê ya ku ji %99 derbas dibe jî bi dest dixin, Bi taybetî di senaryoyên hilberîna belavkirî de, ev karîgeriya bilind ji bo operatoran dibe sedema teserûfa salane ya bi sed hezaran yuan di windahiyên elektrîkê de.
3. Otomasyona Pîşesaziyê: Veguherînerên frekansê yên ku substratên 12 înç bikar tînin di robotên pîşesaziyê, makîneyên CNC û alavên din de performansek pir baş nîşan didin. Taybetmendiyên wan ên guheztina frekansê yên bilind leza bersiva motorê bi rêjeya %30 baştir dikin di heman demê de destwerdana elektromagnetîk ji sêyeka çareseriyên kevneşopî kêm dikin.
4. Nûjeniya Elektronîkên Xerîdar: Teknolojiyên şarjkirina bilez a smartphone yên nifşê nû dest bi pejirandina substratên SiC yên 12 înç kirine. Tê pêşbînîkirin ku hilberên şarjkirina bilez ên li jor 65W dê bi tevahî derbasî çareseriyên karbîda silîkonê bibin, û substratên 12 înç wekî bijartina lêçûn-performansê ya çêtirîn derdikevin holê.
XKH Xizmetên Taybetkirî ji bo Substrata SiC ya 12-inch
Ji bo bicihanîna pêdiviyên taybetî ji bo substratên SiC yên 12-inç (substratên karbîda silîkonê yên 12-inç), XKH piştgiriyek karûbarê berfireh pêşkêş dike:
1.Thickness Xweserkirin:
Em ji bo pêkanîna hewcedariyên serîlêdanê yên cûda, substratên 12 înç bi taybetmendiyên stûriya cûda, tevî 725μm, peyda dikin.
2. Têkeliya dopingê:
Hilberîna me gelek cureyên guhêzbariyê piştgirî dike, di nav de substratên celebê-n û celebê-p, bi kontrola berxwedana rastîn di navbera 0.01-0.02Ω·cm de.
3. Xizmetên Ceribandinê:
Bi alavên ceribandina asta waferê yên bêkêmasî, em raporên teftîşê yên tevahî peyda dikin.
XKH fêm dike ku her xerîdarek ji bo substratên SiC yên 12 înç xwedî daxwazên bêhempa ye. Ji ber vê yekê, em modelên hevkariya karsaziyê yên nerm pêşkêş dikin da ku çareseriyên herî reqabetê peyda bikin, çi ji bo:
· Nimûneyên R&D
· Kirînên hilberîna qebare
Xizmetên me yên xwerû piştrast dikin ku em dikarin hewcedariyên we yên teknîkî û hilberînê yên taybetî ji bo substratên SiC yên 12 înç bicîh bînin.


