4H/6H-P 6inch SiC wafer Zero pola MPD Nola hilberandinê Dersa dummy

Kurte Danasîn:

Wafera 4H/6H-P ya 6-inch SiC materyalek nîvconductor e ku di çêkirina cîhaza elektronîkî de tê bikar anîn, ku ji ber guheztina xweya germî ya hêja, voltaja hilweşîna bilind, û berxwedana li hember germahiyên bilind û korozyonê tê zanîn. Pîvana hilberînê û Zero MPD (Kêmasiya Pipe Micro) pêbawerî û aramiya wê di elektronîkên hêza performansa bilind de misoger dike. Waferên pola hilberînê ji bo hilberîna cîhaza mezin a bi kontrolkirina kalîteyê ya hişk ve têne bikar anîn, dema ku waferên pola dummy di serî de ji bo xeletkirina pêvajoyê û ceribandina alavan têne bikar anîn. Taybetmendiyên berbiçav ên SiC dihêle ku ew bi berfirehî di cîhazên elektronîkî yên germahiyek bilind, voltaja bilind û frekansa bilind de, wekî amûrên hêzê û amûrên RF-ê, were sepandin.


Detail Product

Tags Product

4H/6H-P Tîpa SiC Substratên Pêkhatî Tabloya Parametreya Hevbeş

6 inch diameter Silicon Carbide (SiC) Substrate Specification

Sinif Hilberîna MPD ZeroNota (Z Sinif) Hilberîna StandardNota (P Sinif) Nota Dummy (D Sinif)
Çap 145,5 mm~ 150,0 mm
Qewîtî 350 μm ± 25 μm
Orientation Wafer -Offtex: 2,0°-4,0° ber bi [1120] ± 0,5° ji bo 4H/6H-P, Li ser tebeqê:〈111〉± 0,5° ji bo 3C-N
Density Micropipe 0 cm-2
Berxwedan p-type 4H/6H-P ≤0,1 Ωꞏcm ≤0,3 Ωꞏcm
n-type 3C-N ≤0,8 mΩꞏcm ≤1 m Ωꞏcm
Orientation Flat Seretayî 4H/6H-P -{1010} ± 5.0°
3C-N -{110} ± 5,0°
Length Flat seretayî 32,5 mm ± 2,0 mm
Duyemîn Flat Length 18,0 mm ± 2,0 mm
Orientation Flat Duyemîn Rûyê silicon: 90 ° CW. ji daîreya Serokwezîr ± 5,0°
Edge Exclusion 3 mm 6 mm
LTV / TTV / Bow / Warp ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Roughness Polonî Ra≤1 nm
CMP Ra≤0.2 nm Ra≤0.5 nm
Bi Ronahiya Hêzdar a Bilind Diqelişe Netû Dirêjahiya berhevkirî ≤ 10 mm, dirêjahiya yekane≤2 mm
Plateyên Hex Bi Ronahiya Hêzdar a Bilind Qada kombûyî ≤0,05% Qada kombûyî ≤0,1%
Herêmên Polytype Bi Ronahiya Zêdetir Netû Qada kombûyî≤3%
Têkiliyên Karbonê yên Visual Qada kombûyî ≤0,05% Qada kombûyî ≤3%
Bi Ronahiya Zehmetkêşiya Bilind Dirûvê Siliconê Xiriqandin Netû Dirêjahiya kumulatîf≤1× diameter wafer
Edge Chips High By Intensity Light Ne destûr nade ≥0.2mm firehî û kûrahî 5 destûr, her yek ≤1 mm
Têkçûna Rûyê Silicon Bi Hêzbûna Bilind Netû
Packaging Kaseta Pir-wafer an Konteynirê Waferê ya Yekane

Têbînî:

※ Sînorên kêmasiyan li ser tevahiya rûbera waferê ji bilî qada veqetandina kenarê derbas dibin. # Xaliqandin divê li ser Si rû o

Wafera SiC ya 6-inç a 4H/6H-P bi pola Zero MPD û hilberîn an pola dummy bi berfirehî di sepanên elektronîkî yên pêşkeftî de tê bikar anîn. Germbûna wê ya germî ya hêja, voltaja hilweşîna bilind, û berxwedana li dijî hawîrdorên dijwar, wê ji bo elektronîkên hêzê, wekî guheztinên voltaja bilind û veguhezkeran, îdeal dike. Pola Zero MPD kêmasiyên hindiktirîn peyda dike, ji bo amûrên pêbaweriya bilind krîtîk. Waferên pola hilberînê di hilberîna mezin a amûrên hêzê û sepanên RF de têne bikar anîn, ku li wir performans û rastbûn girîng in. Ji hêla din ve, waferên pola dummy, ji bo kalibrasyona pêvajoyê, ceribandina amûran, û prototîpkirinê têne bikar anîn, ku di hawîrdorên hilberîna nîvconductor de kontrola kalîteyê ya domdar pêk tîne.

Awantajên substratên pêkhatî yên SiC-N-type hene

  • Têkiliya Germiya Bilind: Wafera 4H/6H-P SiC bi bandor germê belav dike, ku ew ji bo serîlêdanên elektronîkî yên germahîya bilind û hêza bilind guncan e.
  • Voltaja Hilweşîna Bilind: Kapasîteya wê ya hilgirtina voltaja bilind bêyî têkçûn wê ji bo elektronîkên hêzê û serîlêdanên guheztina voltaja bilind îdeal dike.
  • Zero MPD (Kêmasiya Pipe Mîkro) Nota: Kêmbûna kêmasiya hindiktirîn pêbawerî û performansa bilindtir peyda dike, ji bo daxwazkirina amûrên elektronîkî krîtîk.
  • Hilberîn-Pola ji bo Hilberîna Komkujî: Minasib ji bo hilberîna mezin a cîhazên nîvconductor-performansa bilind bi standardên kalîteya hişk.
  • Dummy-Pola ji bo Testkirin û Kalibrasyonê: Optimîzasyona pêvajoyê, ceribandina alavan, û prototîpkirinê bêyî karanîna waferên hilberîn-pola lêçûn çalak dike.

Bi tevayî, 4H/6H-P waferên 6-inch SiC bi pola Zero MPD, pola hilberînê, û pola dummy ji bo pêşkeftina amûrên elektronîkî yên bi performansa bilind avantajên girîng peyda dikin. Van wafers bi taybetî di serîlêdanên ku hewceyê operasyona germahiya bilind, dendika hêza bilind, û veguheztina hêza bikêrhatî ne de bikêr in. Pola Zero MPD ji bo performansa cîhaza pêbawer û bi îstîqrar kêmasiyên hindiktirîn peyda dike, dema ku waferên pola hilberînê bi kontrolên kalîteyê yên hişk piştgirî didin hilberîna mezin. Waferên pola dummy ji bo xweşbîniya pêvajoyê û kalibrasyona alavan çareseriyek lêçûn peyda dikin, ku wan ji bo çêkirina nîvconductor-a-rast-bilind neçar dike.

Diagrama berfireh

b1
b2

  • Pêşî:
  • Piştî:

  • Peyama xwe li vir binivîse û ji me re bişîne