Wafera fîlma krîstala yekane ya lîtyûm nîobat a 4 înç û 6 înç LNOI
Pêvajoya amadekirina materyalên LNOI bi giranî li çar gavên jêrîn dabeş dibe
(1) Îyonên He bi enerjiyeke diyarkirî di nav madeya lîtyûm nîobata X-birrî de hatin derzîkirin, û di kûrahiyeke diyarkirî de di bin qata rûyê lîtyûm nîobata de hatin danîn nav qata kêmasiyê;
(2) Materyalê lîtyûm nîobata ku bi îyonan hatiye çandin, bi qatek oksîdê ve bi substratek silîkonê ve tê girêdan da ku avahiyek girêdanê çêbike;
(3) Avahiya girêdanê hate germkirin da ku kêmasiyên ku ji hêla çandina îyona He ve hatine çêkirin pêşve bibin û kom bibin da ku şikestinan çêbikin. Di dawiyê de, nîyobata lîtyûmê li ser qata kêmasiyê hate veqetandin da ku perçeyên nîyobata lîtyûmê yên mayî û waferên LNOI çêbike.
Serlêdan û avantajên wafera LNOI
1--Fîlmên pîezoelektrîkî yên lîtyûm nîobat (LNOI) xwedî katsayiya pîezoelektrîkî û sabîta dielektrîkî ya bilind in, ku dikarin enerjiya mekanîkî veguherînin enerjiya elektrîkê an jî enerjiya elektrîkê veguherînin enerjiya mekanîkî. Ji ber vê yekê, ew bi berfirehî di warê sensoran de, wekî sensorên zextê, sensorên lezdanê, sensorên germahiyê û hwd. tê bikar anîn. Wekî din, fîlma pîezoelektrîkî ya lîtyûm nîobat dikare di cîhazên akustîk û cîhazên lerzînê de, wekî veguherînera seramîk a pîezoelektrîkî û fîltera seramîk a pîezoelektrîkî ya tevlihev de jî were bikar anîn.
2- Yek ji avantajên fîlma pîezoelektrîkî ya lîtyûm nîobat jî aramiya wê ye. Ji ber aramiya avahiya xwe ya krîstal û bêserûberiya kîmyewî, fîlma pîezoelektrîkî ya lîtyûm nîobat dikare di germahiya bilind, şilbûna bilind, asîda bihêz, alkaliya bihêz û hawîrdorên din ên dijwar de, bi berxwedana korozyonê û domdariya baş bixebite.
Fîlma pîezoelektrîkî ya 3-Lîtyûm nîobat materyalek pîezoelektrîkî ya nû ye ku xwedî performans û aramiya hêja ye, û xwedî perspektîfek serîlêdanê ya berfireh e. Bi pêşkeftina domdar a zanist û teknolojiyê re, fîlma pîezoelektrîkî ya lîtyûm nîobat dê li bajarên bêtir were sepandin, ku rehetiyê û nûjeniyê bêtir tîne jiyana mirovan.
Diyagrama Berfireh


