8inch SiC Hilberîna pola wafer 4H-N substrate SiC

Kurte Danasîn:

Substratên SiC yên 8-inç di amûrên elektronîkî yên bi hêza bilind de, wekî MOSFET-ên hêzdar (Tranzîstorên Bandora Zeviya Nîvconductor Oksîda Metal), Dîodên Schottky û amûrên din ên nîvconductor yên hêzê têne bikar anîn.


Detail Product

Tags Product

Tabloya jêrîn taybetmendiyên waferên me yên 8 inch SiC nîşan dide:

8inch N-type SiC DSP Specs

Jimare Şanî Yekbûn Çêkerî Lêkolîn Dummy
1: Parametre
1.1 polytype -- 4H 4H 4H
1.2 orientation surface ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2: Parametreya elektrîkê
2.1 dopant -- n-tîpa Nîtrojen n-tîpa Nîtrojen n-tîpa Nîtrojen
2.2 berxwedan ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3: Parametreya mekanîkî
3.1 çap mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 qewîtî μm 500±25 500±25 500±25
3.3 orientation notch ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Kûrahiya Notch mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV μm ≤5 (10mm*10mm) ≤5 (10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Girêk μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Warp μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4: Avahî
4.1 density micropipe ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 naveroka metal atom/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5.Front quality
5.1 pêşde -- Si Si Si
5.2 finish surface -- Si-rûyê CMP Si-rûyê CMP Si-rûyê CMP
5.3 particle ea/wafer ≤100 (mezin≥0.3μm) NA NA
5.4 xerritok ea/wafer ≤5, Tevahiya Dirêjahî≤200mm NA NA
5.5 Qerax
çîp / derdan / şikestin / lek / gemarî
-- Netû Netû NA
5.6 Herêmên Polytype -- Netû Herêm ≤10% Herêm ≤30%
5.7 nîşankirina pêş -- Netû Netû Netû
6: Qalîteya paşde
6.1 paş qedandin -- C-rûyê MP C-rûyê MP C-rûyê MP
6.2 xerritok mm NA NA NA
6.3 Kêmasiyên piştê qiraxa
çîpên / derdan
-- Netû Netû NA
6.4 Zehmetiya piştê nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Nîşankirina paş -- Notch Notch Notch
7: qirax
7.1 qerax -- Chamfer Chamfer Chamfer
8: Pakêt
8.1 packaging -- Epi-amade bi valahiya
packaging
Epi-amade bi valahiya
packaging
Epi-amade bi valahiya
packaging
8.2 packaging -- Pir-wafer
pakkirina kasetan
Pir-wafer
pakkirina kasetan
Pir-wafer
pakkirina kasetan

Diagrama berfireh

asd (1)
asd (2)
asd (3)

  • Pêşî:
  • Piştî:

  • Peyama xwe li vir binivîse û ji me re bişîne