Wafla 8 înç a SiC ya pola hilberînê, substrata SiC 4H-N
Tabloya jêrîn taybetmendiyên waflên me yên SiC yên 8 înç nîşan dide:
| Taybetmendiyên SiC DSP ya 8 înç a tîpa N | |||||
| Jimare | Şanî | Yekbûn | Çêkerî | Lêkolîn | Maket |
| 1: parametre | |||||
| 1.1 | polîtype | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | arasteya rûberê | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Parametreya Elektrîkî | |||||
| 2.1 | dopant | -- | Nîtrojena tîpa-n | Nîtrojena tîpa-n | Nîtrojena tîpa-n |
| 2.2 | berxwedan | ohm · cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Parametreya mekanîkî | |||||
| 3.1 | çap | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | qewîtî | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Rêzkirina çîçekan | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Kûrahiya Notchê | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm*10mm) | ≤5 (10mm*10mm) | ≤10 (10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Girêk | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Warp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Avahiyê | |||||
| 4.1 | dendika mîkroboriyê | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | naveroka metalî | atom/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Kalîteya pêşiyê | |||||
| 5.1 | pêşde | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | qedandina rûberê | -- | CMP-ya rûyê Si | CMP-ya rûyê Si | CMP-ya rûyê Si |
| 5.3 | perçeyek | wafer | ≤100 (mezinahî ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | xerritok | wafer | ≤5, Dirêjahiya Giştî ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Qerax çîp/çalan/çirandin/leke/qirêjî | -- | Netû | Netû | NA |
| 5.6 | Herêmên polîtyp | -- | Netû | Rûber ≤10% | Rûber ≤30% |
| 5.7 | nîşankirina pêşiyê | -- | Netû | Netû | Netû |
| 6: Kalîteya piştê | |||||
| 6.1 | qedandina paşîn | -- | Parlamenterê C-rû | Parlamenterê C-rû | Parlamenterê C-rû |
| 6.2 | xerritok | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Qiraxa kêmasiyên piştê çîp/çalik | -- | Netû | Netû | NA |
| 6.4 | Nermbûna piştê | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Nîşankirina paşîn | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7:qirax | |||||
| 7.1 | qerax | -- | Çamfer | Çamfer | Çamfer |
| 8: Pakêt | |||||
| 8.1 | pakkirin | -- | Epi-amade bi valahiyê pakkirin | Epi-amade bi valahiyê pakkirin | Epi-amade bi valahiyê pakkirin |
| 8.2 | pakkirin | -- | Pir-wafer pakkirina kasetan | Pir-wafer pakkirina kasetan | Pir-wafer pakkirina kasetan |
Diyagrama Berfireh
Peyama xwe li vir binivîse û ji me re bişîne