Wafera AlN-li-NPSS: Qata Nîtrîd a Aluminiumê ya Performansa Bilind li ser Bingeha Safîrê ya Ne-Colished ji bo Serlêdanên Germahiya Bilind, Hêza Bilind, û RF

Wafera AlN-li-NPSS: Qata Nîtrîd a Aluminiumê ya Performansa Bilind li ser Bingeha Safîrê ya Ne-Cilkirî ji bo Serlêdanên Germahiya Bilind, Hêza Bilind, û RF Wêneya Taybetmendî

Danasîna Kurt:

Wafera AlN-li-NPSS tebeqeyeke nîtrîda alumînyûmê ya performansa bilind (AlN) bi substrateke safîrê ya ne-polîşkirî (NPSS) re dike yek da ku ji bo sepanên germahiya bilind, hêza bilind û frekansa radyoyê (RF) çareseriyek îdeal pêşkêş bike. Têkeliya bêhempa ya taybetmendiyên germahiya awarte û elektrîkê yên AlN, digel hêza mekanîkî ya hêja ya substratê, vê waferê ji bo sepanên daxwazkar ên wekî elektronîkên hêzê, cîhazên frekansa bilind û pêkhateyên optîkî dike bijarteyek bijarte. Bi belavkirina germê ya hêja, windabûna kêm û lihevhatina bi jîngehên germahiya bilind re, ev wafer rê dide pêşxistina cîhazên nifşê pêşerojê bi performansa bilind.

Ji me re e-nameyek bişînin

Taybetmendî

Qata AlN ya Performansa BilindNîtrîd a Aluminiumê (AlN) bi wê tê naskiringuhêzbariya germî ya bilind(~200 W/m·K),valahiya fireh, ûvoltaja hilweşîna bilind, ku ew dike materyalek îdeal ji bohêza bilind, frekanseke bilind, ûgermahiya bilindserlêdanan

Substrata Safîrê ya Ne-Polîşkirî (NPSS)Safîra nepolîşkirî peyda dikelêçûn-bandor, ji hêla mekanîkî ve xurtbingehek, ku bingehek sabît ji bo mezinbûna epitaksiyal bêyî tevliheviya cilandina rûyê misoger dike. Taybetmendiyên mekanîkî yên hêja yên NPSS-ê wê ji bo jîngehên dijwar domdar dike.

Aramiya Termal a BilindWafla AlN-li-NPSS dikare li hember guherînên germahiyê yên zêde li ber xwe bide, ji ber vê yekê ew ji bo karanîna lielektronîkên hêzê, sîstemên otomobîlan, LED, ûsepanên optîkîku di şert û mercên germahiya bilind de performansek stabîl hewce dike.

Îzolasyona ElektrîkîAlN xwedî taybetmendiyên îzolekirina elektrîkê yên hêja ye, ji ber vê yekê ew ji bo sepanên ku li wirîzolekirina elektrîkêkrîtîk e, tevîAmûrên RFûelektronîkên mîkropêlê.

Belavbûna Germahiyê ya BilindtirBi rêjeyek bilind a îsbatkirina germahiyê, qata AlN belavkirina germahiyê ya bi bandor misoger dike, ku ev yek ji bo parastina performans û temenê dirêj ê cîhazên ku di bin hêz û frekanseke bilind de dixebitin girîng e.

Parametreyên Teknîkî

Parametre	Taybetmendî
Dirêjahiya Waferê	2-inch, 4-inch (mezinahîyên xwerû hene)
Cureyê Bingehê	Substrata Safîrê ya Ne-Polîşkirî (NPSS)
Stûriya Qata AlN	2µm heta 10µm (xwerûkirî)
Stûriya Bingehê	430µm ± 25µm (ji bo 2 înç), 500µm ± 25µm (ji bo 4 înç)
Gehîneriya Germahî	200 W/m·K
Berxwedana Elektrîkî	Îzolekirina bilind, ji bo serîlêdanên RF minasib e
Xurbûna Rûyê	Ra ≤ 0.5µm (ji bo qata AlN)
Paqijiya Materyalê	AlN bi paqijiya bilind (99.9%)
Reng	Spî/Sipî-Sipî (qateke AlN bi substrata NPSS ya reng-ronî)
Wafer Warp	< 30µm (tîpîk)
Cureyê Dopîngê	Bê dop (dikare were xweşkirin)

Serlêdan

EwWafera AlN-li ser-NPSSji bo cûrbecûr sepanên performansa bilind li seranserê çend pîşesaziyan hatiye sêwirandin:

Elektronîkên Hêza Bilind: Taybetmendiyên îzolekirinê û şiyana germî ya bilind a qata AlN wê dike materyalek îdeal ji botranzîstorên hêzê, rastker, ûIC-yên hêzêtê bikaranîn diotomobîl, sinaî, ûenerjiya nûjenkirîsîsteman

Pêkhateyên Frekansa Radyoyê (RF)Taybetmendiyên îzolekirina elektrîkê yên hêja yên AlN, digel windabûna wê ya kêm, hilberînatranzîstorên RF, HEMT (Tranzîstorên Tevgera Elektronê ya Bilind), û yên dinpêkhateyên mîkropêlêku di frekansên bilind û asta hêzê de bi bandor dixebitin.

Amûrên OptîkîWaflên AlN-li ser-NPSS-ê didîodên lazerê, LED, ûfotodetektor, li cihê kuguhêzbariya germî ya bilindûberxwedana mekanîkîji bo parastina performansê di temenê dirêj de pir girîng in.

Sensorên Germahiya Bilind: Qabîliyeta waferê ya li hember germahiya zêde wê ji bo minasib dikesensorên germahiyêûçavdêriya jîngehêdi pîşesaziyên wekîhewavanî, otomobîl, ûpetrol û gaz.

Pakkirina Nîvconductor: Hatiye bikaranîn li belavkerên germêûqatên rêveberiya germîdi sîstemên pakkirinê de, misogerkirina pêbawerî û karîgeriya nîvconductoran.

Pirs û Bersîv

P: Feydeya sereke ya waflên AlN-li-NPSS li gorî materyalên kevneşopî yên wekî silîkonê çi ye?

A: Awantaja sereke ya AlN yeguhêzbariya germî ya bilind, ku dihêle ew bi bandor germê belav bike, û ew ji bo îdeal dikehêza bilindûsepanên frekansa bilindli cihê ku birêvebirina germê girîng e. Wekî din, AlN xwedîvalahiya firehû pir başîzolasyona elektrîkê, ku ew ji bo karanîna li serRFûcîhazên mîkropêlêli gorî silîkona kevneşopî.

P: Ma qata AlN li ser waferên NPSS dikare were xweşkirin?

A: Belê, qata AlN dikare ji hêla stûriyê ve (ji 2µm heta 10µm an jî zêdetir) were xweşkirin da ku hewcedariyên taybetî yên serîlêdana we bicîh bîne. Em her weha ji hêla celebê dopingê (cureya N an jî cureya P) û qatên zêde ji bo fonksiyonên taybetî ve xweşkirin pêşkêş dikin.

P: Serlêdana tîpîk a vê waferê di pîşesaziya otomobîlan de çi ye?

A: Di pîşesaziya otomobîlan de, waflên AlN-li ser-NPSS bi gelemperî li têne bikar anînelektronîkên hêzê, Sîstemên ronahîkirina LED, ûsensorên germahiyêEw rêveberiya germî û îzolasyona elektrîkê ya bilind peyda dikin, ku ji bo pergalên bi karîgeriya bilind ên ku di bin şert û mercên germahiyê yên cûda de dixebitin girîng e.