Waflên Quartz ên Helandî yên Paqijiya Bilind ji bo Nîvconductor, Serlêdanên Optîkî yên Fotonîk 2″4″6″8″12″

Waflên Quartz ên Helandî yên Paqijiya Bilind ji bo Nîvconductor, Serlêdanên Optîkî yên Fotonîkê 2″4″6″8″12″ Wêneya Taybetmendî

Danasîna Kurt:

Quartz a Helandî— wekî ku tê zanîn jîSilîkaya Helandî—forma ne-krîstalîn (amorf) a dîoksîda silîkonê (SiO₂) ye. Berevajî camên borosîlîkat an yên din ên pîşesaziyê, kuartza helandî tu dopant an lêzêdeker nagire, û pêkhateyek kîmyayî ya paqij a SiO₂ pêşkêş dike. Ew bi veguhestina xwe ya optîkî ya bêhempa li seranserê spektrumên ultraviyole (UV) û înfrared (IR) tê nasîn, ku ji materyalên cam ên kevneşopî derbas dibe.

Ji me re e-nameyek bişînin

Taybetmendî

Diyagrama Berfireh

Waflên Cama Quartz û Silîkaya Helandî yên Bi Hêlînkirî-2

fused_quartz_wafer_4_inch_fused_silica_wafer_

Pêşgotina Cama Quartz

Waflên Quartz bingeha bêhejmar cîhazên nûjen pêk tînin ku cîhana dîjîtal a îroyîn dimeşînin. Ji navîgasyona di têlefonên we yên jîr de bigire heya bingeha stasyonên bingehîn ên 5G, quartz bi bêdengî aramî, paqijî û rastbûna ku di elektronîk û fotonîkên performansa bilind de hewce dike peyda dike. Çi piştgirîya devreyên nerm bike, çi senzorên MEMS çalak bike, an jî bingeha hesabkirina kuantumê çêbike, taybetmendiyên bêhempa yên quartz wê di seranserê pîşesaziyan de neçar dike.

"Sîlîkaya Helandî" an "Kuarza Helandî" ku qonaxa amorf a kuartzê (SiO2) ye. Dema ku bi cama borosîlîkat re were berawirdkirin, sîlîkaya helandî ti madeyên lêzêdekirî tune ne; ji ber vê yekê ew di forma xwe ya paqij, SiO2 de heye. Sîlîkaya helandî di spektruma înfrared û ultraviyole de, li gorî cama normal, veguhestinek bilindtir heye. Sîlîkaya helandî bi helandin û ji nû ve hişkkirina SiO2 ya ultrapaqij tê hilberandin. Ji hêla din ve, sîlîkaya helandî ya sentetîk ji pêşgirên kîmyewî yên dewlemend bi sîlîkonê wekî SiCl4 tê çêkirin ku têne gazkirin û dûv re di atmosferek H2 + O2 de têne oksîdkirin. Toza SiO2 ya ku di vê rewşê de çêdibe li ser substratek bi sîlîkayê re tê helandin. Blokên sîlîkaya helandî dibin wafer û piştî vê yekê wafer di dawiyê de têne cilandin.

Waflên Cama Silîkaya û Quartz a Optîkî yên Helandî

Taybetmendiyên sereke û feydeyên Waferê Quartz Glass

Paqijiya Ultra-Bilind (≥99.99% SiO2)
Ji bo pêvajoyên nîvconductor û fotonîkê yên pir paqij îdeal e ku tê de divê qirêjiya materyalê were kêmkirin.
Rêzeya Xebata Germahî ya Berfireh
Ji germahiyên krîyojenîk heta zêdetirî 1100°C bêyî xwarbûn an xirabûnê yekparebûna avahîsaziyê diparêze.
Veguhestina UV û IR ya Berbiçav
Ji tîrêjên ultraviyole yên kûr (DUV) heta tîrêjên nêzîk-infrared (NIR) zelaliya optîkî ya hêja peyda dike, û piştgiriyê dide sepanên optîkî yên rastîn.
Koefîsyona Berfirehbûna Germahî ya Kêm
Di bin guherînên germahiyê de aramiya boyûzan zêde dike, stresê kêm dike û pêbaweriya pêvajoyê baştir dike.
Berxwedana Kîmyewî ya Bilindtir
Li hember piraniya asîd, alkalî û çareserkeran bêbandor e - ev yek wê ji bo jîngehên kîmyewî yên êrîşkar pir guncaw dike.
Nermbûna Rûyê Rûyê
Bi qedandinên pir nerm, yek-alî an du-alî yên polîşkirî peyda dibe, bi daxwazên fotonîk û MEMS re hevaheng e.

Pêvajoya Çêkirina Wafera Cama Quartz

Waflên kuartzê yên helandî bi rêya rêze gavên kontrolkirî û rast têne hilberandin:

Hilbijartina Materyalê Xav
Hilbijartina çavkaniyên kuartza xwezayî ya paqijiya bilind an jî SiO₂ yên sentetîk.
Helandin û Yekbûn
Kuartz di germahiya nêzîkî 2000°C de di firneyên elektrîkê de di atmosfereke kontrolkirî de tê helandin da ku madeyên têkel û bilbil ji holê werin rakirin.
Çêkirina Blokan
Silîkaya heliyayî dibe blokên hişk an jî îngotan.
Qutkirina Waferê
Ji bo birîna qaliban û veguherandina perçeyên waferê, kêrên elmas an jî têl ên rastîn tên bikaranîn.
Lapkirin û Cilkirin
Herdu rû jî têne rastkirin û cilkirin da ku li gorî taybetmendiyên optîkî, stûrî û hişkiyê rast bin.
Paqijkirin û Vekolîn
Wafer di odeyên paqij ên ISO Class 100/1000 de têne paqijkirin û ji bo kêmasî û lihevhatina boyûtan bi baldarî têne kontrolkirin.

Taybetmendiyên Wafera Cama Quartz

taybetmendiyê	yekbûn	4"	6"	8"	10"	12"
Diameter / mezinahî (an jî çargoşe)	mm	100	150	200	250	300
Tolerans (±)	mm	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2
Qewîtî	mm	0.10 an jî zêdetir	0.30 an jî zêdetir	0.40 an jî zêdetir	0.50 an jî zêdetir	0.50 an jî zêdetir
Referansa sereke ya deşt	mm	32.5	57.5	Nîv-qonax	Nîv-qonax	Nîv-qonax
LTV (5mm×5mm)	μm	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5
TTV	μm	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Girêk	μm	±20	±30	±40	±40	±40
Warp	μm	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Çerxkirina Qiraxan	mm	Lihevhatî bi Standarda SEMI M1.2 re / li IEC62276 binêre
Cureyê Rûyê		Aliyê Tekane yê Polîşkirî / Aliyên Duqat ên Polîşkirî
Aliyê polîşkirî Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Pîvanên Alîyê Paş	μm	giştî 0.2-0.7 an jî xwerû

Quartz li hember Materyalên Din ên Şefaf

Mal	Cama Quartz	Cama Borosîlîkat	Aqût	Cama Standard
Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
Veguhestina UV	Pir baş (JGS1)	Belengaz	Baş	Pirr feqîr e
Berxwedana Kîmyewî	Pirrbidilî	Navînî	Pirrbidilî	Belengaz
Paqijî	Gelekî bilind	Nizm heta navîn	Bilind	Nizm
Berfirehbûna Germahî	Pir nizm	Navînî	Nizm	Bilind
Nirx	Navîn ber bi bilind	Nizm	Bilind	Pir nizm

Pirs û Bersîvên Pir tên Pirsîn (FAQ) yên li ser Wafera Qedeha Quartz

Q1: Cûdahiya di navbera quartzê helandî û silîkaya helandî de çi ye?
Her du jî formên amorf ên SiO₂ ne, kuartza helandî bi gelemperî ji çavkaniyên kuartza xwezayî tê, lê silîkaya helandî bi sentetîk tê hilberandin. Ji hêla fonksiyonel ve, ew performansek wekhev pêşkêş dikin, lê silîkaya helandî dibe ku paqijî û homojeniyek hinekî bilindtir hebe.

Q2: Ma waflên quartz ên felkirî dikarin di hawîrdorên valahiyek bilind de werin bikar anîn?
Belê. Ji ber taybetmendiyên wan ên derxistina gazê yên kêm û berxwedana wan a germî ya bilind, waflên kuartzê yên helandî ji bo pergalên valahiyê û sepanên hewavaniyê pir baş in.

P3: Ma ev wafer ji bo sepanên lazerê yên UV-ya kûr guncan in?
Bê guman. Quartza helandî xwedî veguhestineke bilind e heta ~185 nm, ku ew ji bo optîkên DUV, maskên lîtografiyê û pergalên lazer ên excimer îdeal dike.

Q4: Ma hûn piştgiriyê didin çêkirina waferên xwerû?
Belê. Em li gorî hewcedariyên serîlêdana we yên taybetî, xwerûkirina tevahî pêşkêş dikin, tevî qûtre, stûrî, kalîteya rûberê, çal/neqş, û şêwazkirina lazerê.

Çûna nava

XKH di warê pêşxistina teknolojiya bilind, hilberîn û firotina cama optîkî ya taybet û materyalên krîstal ên nû de pispor e. Berhemên me ji bo elektronîkên optîkî, elektronîkên xerîdar û leşkerî xizmetê dikin. Em pêkhateyên optîkî yên Safîr, bergên lensên telefonên mobîl, Seramîk, LT, SIC ya Silîkon Karbîd, Quartz û waflên krîstal ên nîvconductor pêşkêş dikin. Bi pisporiya jêhatî û alavên pêşkeftî, em di hilberandina hilberên ne-standard de serdikevin, û armanc dikin ku bibin pargîdaniyek pêşeng a teknolojiya bilind a materyalên optoelektronîkî.

Sîwana Waferê ya Safîrê ya Paqijiya Bilind a Xav a Valahî ji bo Pêvajoyê 5