Substratên Kompozît ên SiC yên Tîpa N Dia6inch Substrata monokrîstalîn a bi kalîte bilind û substrata bi kalîte nizm
Tabloya parametreyên hevpar ên Substratên Kompozît ên SiC yên Tîpa N
| 项目Tişt | 指标Taybetmendî | 项目Tişt | 指标Taybetmendî |
| 直径Çap | 150±0.2mm | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Hişkbûna pêşiyê (rûyê-Si) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
| 晶型Polîtype | 4H | Çîpîna Qiraxê, Xerîb, Şikestin (teftîşa dîtbarî) | Netû |
| 电阻率Berxwedan | 0.015-0.025ohm ·cm | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
| Stûriya qata veguhastinê | ≥0.4μm | 翘曲度Warp | ≤35μm |
| 空洞Nederbas | ≤5 perçe/wafer (2mm>D>0.5mm) | 总厚度Qewîtî | 350±25μm |
Binavkirina "tîpa-N" behsa cureyê dopingê dike ku di materyalên SiC de tê bikar anîn. Di fîzîka nîvconductoran de, doping tê wateya danasîna bi zanebûn a nepakiyan nav nîvconductorekê da ku taybetmendiyên wê yên elektrîkî biguhezîne. Dopinga cureya-N hêmanên ku zêdehiya elektronên azad peyda dikin, û dibin sedema konsantrasyona hilgirê barkêşiya neyînî ya materyalê, dihewîne.
Avantajên substratên kompozît ên SiC yên tîpa N ev in:
1. Performansa germahiya bilind: SiC xwedan îhtîmaleke bilind a germahiyê ye û dikare di germahiyên bilind de bixebite, ji ber vê yekê ew ji bo sepanên elektronîkî yên hêz û frekansa bilind minasib e.
2. Voltaja hilweşîna bilind: Materyalên SiC xwedî voltaja hilweşîna bilind in, ku dihêle ew bêyî têkçûna elektrîkê li hember qadên elektrîkê yên bilind bisekinin.
3. Berxwedana kîmyewî û jîngehê: SiC li hember kîmyewîyan berxwedêr e û dikare li hember şert û mercên dijwar ên jîngehê li ber xwe bide, ji ber vê yekê ew ji bo karanîna di sepanên dijwar de guncan e.
4. Kêmkirina windabûna hêzê: Li gorî materyalên kevneşopî yên li ser bingeha silîkonê, substratên SiC veguherîna hêzê ya bi bandortir di cîhazên elektronîkî de gengaz dikin û windabûna hêzê kêm dikin.
5. Bandgap fireh: SiC xwedî bandek fireh e, ku rê dide pêşxistina cîhazên elektronîkî ku dikarin di germahiyên bilindtir û dendika hêzê ya bilindtir de bixebitin.
Bi tevayî, substratên kompozît ên SiC yên tîpa N ji bo pêşxistina cîhazên elektronîkî yên performansa bilind, nemaze di sepanên ku xebitandina di germahiya bilind, dendika hêza bilind û veguherîna hêzê ya bi bandor girîng in, avantajên girîng pêşkêş dikin.