Wafera Cama Quartz JGS1 JGS2 BF33 Wafer 8 înç 12 înç 725 ± 25 um An jî Li gor daxwazê hatî çêkirin
Taybetmendî
Taybetmendî | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
Çap | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm |
Qewîtî | 0.10mm | 0.30mm | 0.40mm | 0.50mm | 0.50mm |
Xanîya Sereke | 32.5mm | 47.5mm / 57.5mm / Notch | Notch | Notch | Notch |
LTV (5mmx5mm) | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10um | <10um |
Girêk | ±20um | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
Warp | ≤ 30um | ≤ 40um | ≤ 70um | ≤ 80um | ≤ 80um |
Çerxkirina Qiraxan | Li gorî Standarda SEMI M1.2 ye/li IEC62276 binêre | ||||
Cureyê Rûyê | Aliyê Tekane yê Polîşkirî / Aliyên Duqat ên Polîşkirî | ||||
Aliyê polîşkirî Ra | Ra≤1nm | ||||
Pîvanên Alîyê Paş | Ra 0.2-0.7um an jî Xweserkirî |
Tabloya parametreyên Waferê ya Quartz Cam JGS1 JGS2 BF33
Bikaranînî
Waflên cama quartz ên ji JGS1, JGS2, û BF33 hatine çêkirin bi berfirehî di gelek pîşesaziyên rastbûna bilind de têne bikar anîn. Ev wafl ji bo çêkirina nîvconductoran, di nav de substratên fotomask û optîkên asta waflê îdeal in. Ew her weha ji bo pêkhateyên optîkî, lazer û sensoran di pîşesaziyên wekî telekomunîkasyon, hewavanî û cîhazên bijîşkî de guncan in. Aramiya wan a germî ya bilind û berxwedana wan a li hember şoka germî wan ji bo hawîrdorên germahiya ekstrem bêkêmasî dike, di heman demê de veguhestina wan a bêhempa ji bo optîkên ultraviyole (UV) û înfrared (IR) girîng e.
Taybetmendî
Cureyên Materyalan:
JGS1: Veguhestina bilind a tîrêjên ultraviyole, ji bo sepanên ronahiya ultraviyole pir baş e.
JGS2: Veguhestina hevseng li seranserê rêzên UV, xuya û înfrared, ji bo karanînên optîkî yên giştî guncan e.
BF33: Cama borosîlîkat bi berxwedana kîmyewî û domdariya germî ya bilind. Vebijarkên Mezinahî:
Bi mezinahiyên standard ên waflên 8 înç û 12 înç peyda dibe.
Mezinahîyên xwerû dikarin li gorî hewcedariyên taybetî werin çêkirin. Stûrî:
Qalindahiya standard 725 ± 25 μm e.
Qalindahiya xwerû ya berdest ji bo pêkanîna hewcedariyên cûda yên pîşesaziyê.
Taybetmendiyên Germahî:
Stabîlîtiya germî ya hêja, ji bo karanîna di jîngehên germahiya bilind de maqûl e.
Berxwedana bilind a li hember şoka germî.
Berxwedana Kîmyewî:
Berxwedaneke xurt li hember korozyonê ji asîd, alkalî û piraniya kîmyewîyan, bi taybetî di BF33 de.
Taybetmendiyên Optîkî:
Waflên JGS1 û JGS2 di rêzên ultraviyole (UV), dîtbar û înfrared (IR) de veguhestina optîkî ya bilind pêşkêş dikin.
Ji bo pêkhateyên optîkî yên rastîn, fotonîk û serîlêdanên lazerê îdeal e.
Kalîteya Rûyê:
Rûyê bilind û nermbûn, ku di çêkirina cîhazên nîvconductor û optîkî de rastbûn û rastbûnê misoger dike.
Ev taybetmendî waflên JGS1, JGS2, û BF33 ji bo sepanên performansa bilind di pîşesaziyên wekî optîk, elektronîk û nîvconductoran de piralî û pêbawer dikin.
Bi tevahî
Waferên cama quartz ên ji JGS1, JGS2, û BF33 hatine çêkirin, performansek bêhempa li seranserê cûrbecûr sepanên daxwazkar pêşkêş dikin. Ev wafer, ku bi mezinahiyên standard ên 8 înç û 12 înç bi qalindahiya 725 ± 25 μm hene, dikarin li gorî hewcedariyên taybetî werin xwerûkirin. JGS1 û JGS2 di rêzên UV, xuya û IR de veguhestina optîkî ya bilind peyda dikin, di heman demê de BF33 berxwedana kîmyewî û aramiya germî ya hêja pêşkêşî dike. Bi rûbera bilind û nermbûnê, ev wafer ji bo pîşesaziyên rastîn ên wekî nîvconductors, optîk û fotonîkê îdeal in, û di hawîrdorên dijwar û sepanên krîtîk de pêbawerî û domdariyê misoger dikin.
Diyagrama Berfireh

