Firna mezinbûna krîstala SiC Mezinbûna îngotên SiC 4 înç 6 înç 8 înç Rêbaza mezinbûna PTV Lely TSSG LPE
Rêbazên sereke yên mezinbûna krîstal û taybetmendiyên wan
(1) Rêbaza Veguhestina Buxara Fizîkî (PTV)
Prensîb: Di germahiyên bilind de, madeya xav a SiC vediguhere qonaxa gazê, ku paşê li ser krîstala tov ji nû ve tê krîstalîzekirin.
Taybetmendiyên sereke:
Germahiya mezinbûnê bilind e (2000-2500°C).
Krîstalên 4H-SiC û 6H-SiC yên bi kalîte û mezinahîya mezin dikarin werin mezin kirin.
Rêjeya mezinbûnê hêdî ye, lê kalîteya krîstalê bilind e.
Bikaranîn: Bi giranî di nîvconductorên hêzê, cîhazên RF û warên din ên asta bilind de tê bikar anîn.
(2) Rêbaza Lely
Prensîb: Krîstal bi rêya sublimasyona xweber û ji nû ve krîstalîzasyona tozên SiC di germahiyên bilind de têne mezin kirin.
Taybetmendiyên sereke:
Pêvajoya mezinbûnê hewceyê tovan nake, û mezinahiya krîstalê piçûk e.
Qalîteya krîstalan bilind e, lê karîgeriya mezinbûnê kêm e.
Ji bo lêkolînên laboratîfê û hilberîna komên piçûk minasib e.
Bikaranîn: Bi giranî di lêkolînên zanistî û amadekirina krîstalên SiC yên piçûk de tê bikar anîn.
(3) Rêbaza mezinbûna çareseriya tovê jorîn (TSSG)
Prensîb: Di çareseriyek germahiya bilind de, madeya xav a SiC dihele û li ser krîstala tov krîstalîze dibe.
Taybetmendiyên sereke:
Germahiya mezinbûnê kêm e (1500-1800°C).
Krîstalên SiC yên bi kalîte bilind û kêmasiyên kêm dikarin werin mezin kirin.
Rêjeya mezinbûnê hêdî ye, lê yekrengiya krîstal baş e.
Bikaranîn: Ji bo amadekirina krîstalên SiC yên bi kalîte bilind, wekî cîhazên optoelektronîkî, guncaw e.
(4) Epîtaksî ya Qonaxa Şile (LPE)
Prensîb: Di çareseriya metalê ya şile de, madeya xav a SiC li ser substratê mezinbûna epitaksiyal çêdike.
Taybetmendiyên sereke:
Germahiya mezinbûnê kêm e (1000-1500°C).
Rêjeya mezinbûna bilez, ji bo mezinbûna fîlimê minasib e.
Kalîteya krîstalê bilind e, lê qalindahî bi sînor e.
Bikaranîn: Bi giranî ji bo mezinbûna epitaksiyal a fîlmên SiC, wek sensor û cîhazên optoelektronîk, tê bikar anîn.
Rêbazên sereke yên serîlêdana firna krîstala karbîda siliconê
Firna krîstala SiC alavên bingehîn ji bo amadekirina krîstalên sic e, û rêbazên sereke yên sepandina wê ev in:
Çêkirina cîhazên nîvconductor ên hêzê: Ji bo mezinbûna krîstalên 4H-SiC û 6H-SiC yên bi kalîte bilind wekî materyalên substratê ji bo cîhazên hêzê (wek MOSFET, dîyod) tê bikar anîn.
Serlêdan: wesayîtên elektrîkê, veguherînerên fotovoltaîk, dabînkirina hêza pîşesaziyê, û hwd.
Çêkirina cîhazên Rf: Ji bo mezinbûna krîstalên SiC yên kêm-kêmasî wekî substrat ji bo cîhazên RF tê bikar anîn da ku hewcedariyên frekanseke bilind ên ragihandina 5G, radar û ragihandina satelîtê bicîh bîne.
Çêkirina cîhazên optoelektronîk: Ji bo mezinbûna krîstalên SiC yên bi kalîte bilind wekî materyalên substratê ji bo LED, detektorên ultraviyole û lazeran tê bikar anîn.
Lêkolîna zanistî û hilberîna komên piçûk: ji bo lêkolînên laboratîfê û pêşxistina materyalên nû ji bo piştgiriya nûjenî û baştirkirina teknolojiya mezinbûna krîstala SiC.
Çêkirina cîhazên germahiya bilind: Ji bo mezinbûna krîstalên SiC yên berxwedêr ên germahiya bilind wekî materyalê bingehîn ji bo senzorên hewavaniyê û germahiya bilind tê bikar anîn.
Amûr û karûbarên firna SiC yên ji hêla pargîdaniyê ve têne peyda kirin
XKH balê dikişîne ser pêşxistin û çêkirina alavên firna krîstala SIC, û xizmetên jêrîn peyda dike:
Amûrên taybetkirî: XKH li gorî hewcedariyên xerîdaran firneyên mezinbûnê yên taybetkirî bi rêbazên mezinbûnê yên cûrbecûr ên wekî PTV û TSSG peyda dike.
Piştgiriya teknîkî: XKH ji bo tevahiya pêvajoyê, ji çêtirkirina pêvajoya mezinbûna krîstalan bigire heya parastina alavan, piştgiriya teknîkî pêşkêşî xerîdaran dike.
Xizmetên Perwerdehiyê: XKH perwerdehiya operasyonel û rêbernameya teknîkî ji xerîdaran re peyda dike da ku xebitandina bi bandor a alavan misoger bike.
Xizmeta piştî firotanê: XKH xizmeta piştî firotanê ya bilez û nûvekirina alavan peyda dike da ku berdewamiya hilberîna xerîdaran misoger bike.
Teknolojiya mezinbûna krîstala karbîda silîkonê (wek PTV, Lely, TSSG, LPE) di warê elektronîka hêzê, cîhazên RF û optoelektronîkê de xwedî sepanên girîng e. XKH alavên firna SiC yên pêşkeftî û rêzek tevahî karûbaran peyda dike da ku piştgiriyê bide xerîdaran di hilberîna mezin a krîstalên SiC yên bi kalîte de û alîkariya pêşkeftina pîşesaziya nîvconductor bike.
Diyagrama Berfireh

