Wafera Silicon Dioksîdê SiO2 wafera qalind Polikirî, Serek û Dereceya Testê

Wafera Silicon Dioksîtê SiO2 wafera qalind a Polikirî, Nîgara Taybetmendî ya Serek Û Testê

Kurte Danasîn:

Oksîdasyona termal encama danasîna waferek siliconê ye li ber hevberdana ajanên oksîtker û germahiyê ji bo çêkirina qatek dîoksîta silicon (SiO2). Pargîdaniya me dikare pêlên oksîtê silicon dîoksîtê bi pîvanên cihêreng ji bo xerîdaran, bi kalîteya hêja xweş bike; qalindahiya qata oksîtê, tevlihevî, yekrengî û arastekirina krîstalê ya berxwedanê hemî li gorî standardên neteweyî têne bicîh kirin.

E-nameyê ji me re bişînin

Detail Product

Tags Product

Danasîna qutiya waferê

Mal	Oksîda Termal (Si+SiO2) wafer
Rêbaza Hilberînê	LPCVD
Paqijkirina Rûyê	SSP/DSP
Çap	2inch / 3inch / 4inch / 5inch / 6inch
Awa	Tîpa P / Tîpa N
Stûrbûna Layera Oksîdasyonê	100nm ~ 1000nm
Orientation	<100> <111>
Berxwedana elektrîkê	0.001-25000 (Ω•cm)
Bikaranînî	Ji bo hilgirê nimûneya tîrêjê ya synchrotron, pêlava PVD / CVD wekî substrate, nimûneya mezinbûna şûştina magnetron, XRD, SEM, tê bikar anîn,Hêza atomê, spektroskopiya infrasor, spektroskopiya fluorescence û substratên testa analîzê yên din, substratên mezinbûna epitaxial tîrêjên molekular, analîza tîrêjên X-ê yên nîvconduktorên krîstalî

Waferên oksîdê silicon fîlimên dîoksîtê yên silicon in ku li ser rûbera waferên silicon bi riya oksîjenê an buhara avê di germahiyên bilind de (800°C ~ 1150°C) bi karanîna pêvajoyek oksîdasyona termal a bi alavên lûleya firna zexta atmosferê ve têne mezin kirin. Kûrahiya pêvajoyê ji 50 nanometre heya 2 mîkronan diguhere, germahiya pêvajoyê heya 1100 pileya Celsius e, rêbaza mezinbûnê li du celeb "oksîjena şil" û "oksîjena hişk" tê dabeş kirin. Oksîdê Termal qatek oksîdê "mezinbûyî" e, ku ji qatên oksîdê yên ku CVD hatine razandin xwedan yekrengî, zengînbûnek çêtir û hêza dielektrîkî ya bilindtir e, ku di encamê de kalîteya bilindtir heye.

Dry Oxygen Oxidation

Silicon bi oksîjenê re reaksiyonê dike û tebeqeya oksîtê bi berdewamî ber bi qata substratê ve diçe. Pêdivî ye ku oksîdasyona hişk di germahiyên ji 850 heta 1200 ° C de, bi rêjeyên mezinbûnê kêmtir, were kirin, û dikare ji bo mezinbûna deriyê îzolekirî ya MOS were bikar anîn. Dema ku pêvekek oksîtê ya siliconê ya bi kalîte, pir-tenik pêdivî ye, oksîdasyona hişk li ser oksîdasyona şil tê tercîh kirin. Kapasîteya oksîdasyona hişk: 15nm ~ 300nm.

2. Oksîdasyona şil

Ev rêbaz buhara avê bikar tîne da ku bi ketina lûleya firnê di bin şert û mercên germahiya bilind de qatek oksîdê çêbike. Kêmbûna oksîjena oksîjena şil ji oksîjena oksîjena hişk hinekî xirabtir e, lê li gorî oksîjena oksîjena hişk feydeya wê ev e ku ew xwedan rêjeyek mezinbûnê ye, ku ji bo mezinbûna fîlimê ji 500nm zêdetir maqûl e. Kapasîteya oksîdasyona şil: 500nm ~ 2 μm.

Tîpa sobeya oksîdasyona zexta atmosferê ya AEMD boriyek sobeya horizontî ya Czechek e, ku bi aramiya pêvajoyê ya bilind, yekrengiya fîlimê ya baş û kontrolkirina perçeyên bilind ve tête diyar kirin. Tîpa firna oksîtê ya silicon dikare heya 50 waferan di her lûleyekê de, bi yekrengiya hundurîn û nav-waferan a hêja, pêvajoyê bike.