Qonaxa Hilgirtina Hewayî ya SiC ya Ultra-Pir Rastîn

Wêneya Taybetmendî ya Qonaxa Hilgirtina Hewayî ya SiC ya Ultra-Precision

Danasîna Kurt:

Bi pêşveçûna berdewam a pîşesaziya nîvconductoran re, alavên hilberandin û vekolînê performansek her ku diçe bilindtir dixwazin. Li ser bingeha pisporiya berfireh di kontrola tevgerê û bicihkirina asta nanometre de, me qonaxek hewayî ya du-eksenî ya tîpa H ya planar a ultra-rast pêşxistiye.

Ji me re e-nameyek bişînin

Taybetmendî

Diyagrama Berfireh

Têgihiştinî

Ev qonax, ku bi avahiyeke seramîk a silîkon karbîd (SiC) ya ji bo hêmanên dawî-optimîzekirî û teknolojiya hilgirtina hewayî ya tezmînatkirî hatiye çêkirin, rastbûn, hişkbûn û bersiva dînamîk a berbiçav pêşkêş dike. Ew ji bo van tiştan bi awayekî îdeal guncaw e:

Pêvajo û vekolîna nîvconductor
Çêkirina mîkro/nano û metrolojî
Birrîn û cilandina bi mêş di asta nanometre de
Skenkirina rastîn a bilez

Taybetmendiyên Sereke

Rêbera hewayê ya SiCji bo hişkbûn û rastbûna ultra-bilind
Dînamîkên bilind: leza heta 1 m/s, lezdan heta 4 g, rûniştina bilez
Eksena Y ya gantry ya du-ajotinêkapasîteya barkirinê ya bilind û aramiyê garantî dike
Vebijarkên kodkerê: şebekeya optîkî an jî interferometreya lazerê
Rastbûna cihgirtinê: ±0.15 μm;dubarekirin: ±75 nm
Rêbaza kabloyê ya çêtirînkirîji bo sêwirana paqij û pêbaweriya demdirêj
Mîhengên xwerûkirîji bo hewcedariyên taybetî yên serîlêdanê

Sêwirana Ultra-Pir Rast & Mîmariya Ajotina Rasterast, Bê Têkilî

Çarçoveya Seramîk a SiC~5× hişkbûna alloyûmê û ~5× berfirehbûna germî kêmtir e, ku aramiya leza bilind û berxwedana germî misoger dike.
Hilgirtina Hewayî ya TezmînatkirîSêwirana taybet hişkbûn, kapasîteya barkirinê û aramiya tevgerê zêde dike.
Performansa DînamîkLeza 1 m/s û lezandina 4 g piştgirî dike, ji bo pêvajoyên bi berhemdariya bilind îdeal e.
Entegrasyona Bêqusûr: Lihevhatî bi sîstemên îzolekirina lerizînê, qonaxên zivirî, modulên tilt, û platformên hilgirtina waferan re.
Rêveberiya KabloyanRadyûsa xwarbûnê ya kontrolkirî stresê kêm dike ji bo temenê xizmetê dirêj bike.

Motora Xêzikî ya BênavikTevgera nerm bi hêza kogandinê ya sifir.
Ajokera Pir-MotorîCîhêkirina motorê li gorî asta barkirinê rastbûn, rûtbûn û rastbûna goşeyî baştir dike.
Îzolasyona GermahîMotor ji avahiya qonaxê veqetandî ne; ji bo çerxên erkê bilind sarkirina hewa an avê vebijarkî ye.

Taybetmendî

Cins	400-400	500-500	600-600
Tewer	X (skenkirin) / Y (gav)	X (skenkirin) / Y (gav)	X (skenkirin) / Y (gav)
Seyahet (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Rastbûn (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Dubarekirin (nm)	±75	±100	±100
Çareserî (nm)	0.3	0.3	0.3
Leza herî zêde (m/s)	1	1	1
Lezkirin (g)	4	4	4
Rastbûn (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Aramiyê (nm)	±5	±5	±5
Barê herî zêde (kg)	20	20	20
Pitch/Girtin/Yaw (arc-sec)	±1	±1	±1

Mercên Testê:

Dabînkirina hewayê: paqij, hişk; xala şilbûnê ≤ 0°F; parzûna perçeyan ≤ 0.25 μm; an jî 99.99% nîtrojen.
Rastbûn 25 mm li jor navenda sehneyê di 20±1 °C, 40–60% RH de hate pîvandin.

Serlêdan

Lîtografiya nîvconductor, vekolîn, û desteserkirina waferan
Çêkirina mîkro/nano û metrolojiya rastîn
Çêkirina optîkên asta bilind û interferometrî
Hewayî û lêkolîna zanistî ya pêşketî

Pirs û Bersîv - Qonaxa Hewayî ya Karbîda Sîlîkonê

1. Qonaxa hewa-hilgir çi ye?

Qonaxeke bi hewa hilgir fîlmek tenik ji hewaya zextkirî di navbera qonax û rêbernameyê de bikar tîne da ku peyda bike.tevgera bê xişandin, bê aşandin, û tevgera ultra-nermBerevajî bearingên mekanîkî yên kevneşopî, ew şemitîna çîp-çîp ji holê radike, rastbûna asta nanometre peyda dike, û pêbaweriya demdirêj piştgirî dike.

2. Çima ji bo avahiya sehneyê karbîda silîkonê (SiC) tê bikaranîn?

Hişkbûna bilind: ~5× ji ya alloyûma alumînyûmê, deformasyonê di dema tevgera dînamîk de kêm dike.
Berfirehbûna germî ya nizm: ~5× ji aluminiumê kêmtir, rastbûn di bin guherînên germahiyê de diparêze.
SivikDensiteya kêmtir li gorî pola, ku dihêle ku xebat bi leza bilind û lezandina bilind were kirin.
Aramiya hêja: Kêmkirin û hişkbûna bilind ji bo pozîsyonkirina pir-rast.

3. Gelo qonax hewceyê rûnkirinê an lênêrînê ye?

Pêdivî bi rûnkirina kevneşopî nîne ji ber ku heyetêkiliyek mekanîkî tuneParastina pêşniyarkirî ev in:

Dabînkirinhewaya paqij û hişk a pêçayî an nîtrojen
Kontrolkirina periyodîk a fîlter û zuwakeran
Çavdêriya kabloyan û pergalên sarkirinê

4. Pêdiviyên dabînkirina hewayê çi ne?

Xala şilbûnê: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Parzûna perçeyan: ≤ 0.25 μm
Hewaya paqij û hişk, an jî %99.99 nîtrojena saf
Zexta sabît bi guherîna herî kêm

Çûna nava

XKH di warê pêşxistina teknolojiya bilind, hilberîn û firotina cama optîkî ya taybet û materyalên krîstal ên nû de pispor e. Berhemên me ji bo elektronîkên optîkî, elektronîkên xerîdar û leşkerî xizmetê dikin. Em pêkhateyên optîkî yên Safîr, bergên lensên telefonên mobîl, Seramîk, LT, SIC ya Silîkon Karbîd, Quartz û waflên krîstal ên nîvconductor pêşkêş dikin. Bi pisporiya jêhatî û alavên pêşkeftî, em di hilberandina hilberên ne-standard de serdikevin, û armanc dikin ku bibin pargîdaniyek pêşeng a teknolojiya bilind a materyalên optoelektronîkî.