100mm GaN 4inch li ser Sapphire Epi-layer wafer Gallium nitride epitaxial wafer

Kurte Danasîn:

Pelê epitaxial nitride Gallium nûnerek tîpîk a nifşa sêyemîn a materyalên epîtaksial ên nîvconduktorê bendeke fireh e, ku xwedan taybetmendiyên hêja yên wekî valahiya bandê ya berfireh, hêza zeviya hilweşînê ya bilind, gihandina germî ya bilind, leza dravê ya têrbûna elektronê ya bilind, berxwedana tîrêjê ya bihêz û bilind e. aramiya kîmyewî.

E-nameyê ji me re bişînin

Detail Product

Tags Product

Pêvajoya mezinbûnê ya GaN şîn a strukturê baş kuantum LED.Pêvajoya berfireh bi vî rengî ye

(1) Pijandina germahiya bilind, substrata yaqûtê pêşî li 1050℃ di atmosferek hîdrojenê de tê germ kirin, mebest paqijkirina rûyê substratê ye;

(2) Dema ku germahiya substratê dakeve 510℃, qatek tampon a GaN/AlN-ya nizm a bi qalindahiya 30nm li ser rûyê substrata yaqûtê tê razandin;

(3) Germahiya heya 10 ℃ bilind dibe, gaza reaksiyonê ammonia, trimethylgallium û silane têne derzî kirin, bi rêzê ve rêjeya herikîna têkildar kontrol dikin, û GaN-a-tîpa N-ê ya silicon-dopkirî ya bi qalindahiya 4um mezin dibe;

(4) Gaza reaksiyonê ya trimethyl aluminium û trimethyl galium ji bo amadekirina parzemînên bi silicon-doped N-type A⒑ bi qalindahiya 0.15um hate bikar anîn;

(5) 50nm Zn-doped InGaN bi derzîlêdana trimethylgallium, trimethylindium, diethylzinc û ammonia li germahiyek 8O0℃ û bi rêzê ve rêjeyên herikîna cûda kontrol kirin hate amadekirin;

(6) Germahiya heya 1020℃ hate zêdekirin, trimethylaluminium, trimethylgalium û bis (cyclopentadienyl) magnesium hatin derzî kirin da ku 0.15um Mg doped P-type AlGaN û 0.5um Mg doped P-type G glukoza xwînê;

(7) Fîlma bi kalîteya P-type GaN Sibuyan bi helandina di atmosfera nîtrojenê de li 700℃ hate wergirtin;

(8) Etching li ser rûbera rawestanê ya P-type G da ku rûyê rawestanê ya N-type G eşkere bike;

(9) Hilweşîna lewheyên pêwendiya Ni/Au li ser rûbera p-GaNI, evaporkirina lewheyên pêwendiya △/Al li ser rûyê ll-GaN ji bo çêkirina elektrod.

Specifications

Şanî	GaN-TCU-C100	GaN-TCN-C100
Dimensions	e 100 mm ± 0,1 mm
Qewîtî	4,5±0,5 um Dikare were xweş kirin
Orientation	C-balafir(0001) ±0,5°
Type Conduction	Tîpa N (Bêkirî)	Tîpa N (Si-doped)
Berxwedan (300K)	<0,5 Q・cm	<0,05 Q・cm
Concentration Carrier	< 5x10¹⁷cm^-3	> 1x10¹⁸cm^-3
Hejînî	~ 300 cm²/Vs	~ 200 cm²/Vs
Dislocation Density	Ji 5x10 kêmtir⁸cm^-2(ji hêla FWHMs ya XRD ve hatî hesibandin)
Struktura substrate	GaN li ser Sapphire (Standard: Vebijarka SSP: DSP)
Qada Rûyê Bikaranîn	> 90%
Pakêt	Di jîngehek jûreyek paqij a pola 100 de, di kasetên 25 pcs an konteynerên yekane de, di binê atmosferek nîtrojenê de têne pak kirin.