Lêkolîna hilberîna Wafera SiC ya 4H-N/6H-N Qata modêl Dia150mm Substrata karbîda silîkonê
Taybetmendiya substrata karbîda silîkonê (SiC) ya bi qûtra 6 înç
Sinif | Sifir MPD | Çêkerî | Asta Lêkolînê | Nota sexte |
Çap | 150.0mm±0.25mm | |||
Qewîtî | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Rêzkirina Waferê | Li ser eksena :<0001>±0.5° ji bo 4H-SI | |||
Xanîya Sereke | {10-10}±5.0° | |||
Dirêjahiya sereke ya dûz | 47.5mm±2.5mm | |||
Derxistina qiraxê | 3mm | |||
TTV/Kevan/Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Tîrbûna Mîkroboriyê | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Berxwedan 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Nermî | Ra ya Polonî ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#Çirûsk ji ber ronahiya bi şîddeta bilind | Netû | 1 destûrdayî, ≤2mm | Dirêjahiya berhevkirî ≤10mm, dirêjahiya yekane ≤2mm | |
* Plaqeyên heksagonal bi ronahiya şîdeta bilind | Rûbera berhevkirî ≤1% | Rûbera berhevkirî ≤ 2% | Rûbera berhevkirî ≤ 5% | |
*Herêmên polîtyp bi ronahiya bi şîddeta bilind | Netû | Rûbera berhevkirî ≤ 2% | Rûbera berhevkirî ≤ 5% | |
*&Xurandin ji ber ronahiya bi şîddeta bilind | 3 xêzkirin bo 1 x dirêjahiya berhevkirî ya diametera waferê | 5 xêzkirin heta 1 x dirêjahiya berhevkirî ya diametera waferê | 5 xêzkirin heta 1 x dirêjahiya berhevkirî ya diametera waferê | |
Çîpa qiraxê | Netû | 3 destûrdayî, her yek ≤0.5mm | 5 destûr, her yek ≤1mm | |
Gemarîbûna ji ber ronahiya bi şîdeta bilind | Netû
|
Firotin û Xizmeta Mişterî
Kirîna Materyalan
Beşa kirîna materyalan berpirsiyar e ji berhevkirina hemî madeyên xav ên pêwîst ji bo hilberandina hilbera we. Şopandina bêkêmasî ya hemî hilber û materyalan, tevî analîzên kîmyewî û fîzîkî, her gav heye.
Çêwe
Di dema çêkirin an makînekirina hilberên we de û piştî wê, beşa kontrola kalîteyê beşdarî piştrastkirina ku hemî materyal û tolerans li gorî taybetmendiyên we ne an jî ji wan derbas dibin dibe.
Xizmetkar
Em bi karmendên endezyariya firotanê serbilind in ku di pîşesaziya nîvconductoran de zêdetirî 5 sal ezmûna wan heye. Ew ji bo bersivdayîna pirsên teknîkî û her weha pêşkêşkirina pêşniyarên di wextê xwe de ji bo hewcedariyên we hatine perwerdekirin.
Em her dem li kêleka we ne dema ku pirsgirêkek we hebe, û di nav 10 demjimêran de çareser dikin.
Diyagrama Berfireh

