Makîneya Birrîna Elmasê ya Pir-Têl ji bo Materyalên Pir-Hişk ên Şikestî yên Safîrê SiC
Danasîna Makîneya Birrîna Elmasê ya Pir-Têl
Makîneya birîna elmasê ya pir-têl sîstemeke birînê ya herî pêşketî ye ku ji bo hilberandina materyalên pir hişk û şikestî hatiye çêkirin. Bi bicihkirina gelek têlên paralel ên bi elmas pêçayî, makîne dikare di heman demê de gelek waferan di yek çerxeyê de bibire, hem hilberînek bilind û hem jî rastbûnek bi dest bixe. Ev teknoloji di pîşesaziyên wekî nîvconductors, fotovoltaîkên rojê, LED û seramîkên pêşkeftî de, nemaze ji bo materyalên wekî SiC, safîr, GaN, quartz û alumina, bûye amûrek girîng.
Li gorî birîna yek-têl a kevneşopî, mîhenga pir-têl di her komekê de bi dehan heta bi sedan perçeyan peyda dike, dema çerxê pir kêm dike di heman demê de rûtiyek hêja (Ra < 0.5 μm) û rastbûna pîvanî (±0.02 mm) diparêze. Sêwirana wê ya modular tengezariya têl a otomatîk, pergalên desteserkirina perçeyên kar, û çavdêriya serhêl vedihewîne, hilberîna demdirêj, aram û bi tevahî otomatîk misoger dike.
Parametreyên Teknîkî yên Makîneya Birrîna Elmasê ya Pir-Têl
| Şanî | Taybetmendî | Şanî | Taybetmendî |
|---|---|---|---|
| Mezinahiya herî zêde ya kar (Çargoşe) | 220 × 200 × 350 mm | Motora ajotinê | 17.8 kW × 2 |
| Mezinahiya herî zêde ya kar (Girover) | Φ205 × 350 mm | Motora ajotina têl | 11.86 kW × 2 |
| Mesafeya milê | Φ250 ±10 × 370 × 2 eksen (mm) | Motora rakirina maseya kar | 2.42 kW × 1 |
| Mihwera sereke | 650 mm | Motora swing | 0.8 kW × 1 |
| Leza rêkirina têl | 1500 m/deqe | Motora sazkirinê | 0.45 kW × 2 |
| Dirêjahiya têlê | Φ0.12–0.25 mm | Motora tansiyonê | 4.15 kW × 2 |
| Leza hildanê | 225 mm/deqe | Motora şilkirinê | 7.5 kW × 1 |
| Zêdetirîn zivirîna maseyê | ±12° | Kapasîteya tanka şilavê | 300 L |
| Goşeya hejandinê | ±3° | Herikîna sarincê | 200 L/deqe |
| Frekansa swing | ~30 caran/deqe | Rastbûna germahiyê | ±2 °C |
| Rêjeya xwarinê | 0.01–9.99 mm/deqîqe | Navê min | 335+210 (mm²) |
| Rêjeya xwarina têl | 0.01–300 mm/deqîqe | Hewaya pêçayî | 0.4–0.6 MPa |
| Mezinahiya makîneyê | 3550 × 2200 × 3000 mm | Pîvan | 13,500 kg |
Mekanîzma Xebatê ya Makîneya Birrîna Elmasê ya Pir-Têl
-
Tevgera Birîna Pir-Têl
Çend têlên elmas bi leza hevdemî heta 1500 m/min diçin û tên. Makîneyên rêberiya rast û kontrola tansiyona çerxa girtî (15–130 N) têlan sabît dihêlin, şansê xwarbûn an şikestinê kêm dikin. -
Xwarin û Cihê Rast
Pozîsyonkirina bi servo-ajotinê rastbûna ±0.005 mm bi dest dixe. Hevrêzkirina bi lazer an jî bi alîkariya dîtinê ya vebijarkî encaman ji bo şeklên tevlihev zêde dike. -
Sarkirin û Rakirina Bermayiyan
Sarincokê bi zexta bilind bi berdewamî çîpan radike û qada xebatê sar dike, û pêşî li zirara germî digire. Parzûna pir-qonaxî temenê sarincokê dirêj dike û dema bêçalakbûnê kêm dike. -
Platforma Kontrola Jîr
Ajokarên servo yên bersivdayînê bilind (<1 ms) bi awayekî dînamîk xwarin, tansiyon û leza têlê diguherînin. Rêveberiya reçeteyê ya yekbûyî û guheztina parametreyê ya bi yek klîk hilberîna girseyî hêsan dike.
Feydeyên Sereke yên Makîneya Birrîna Elmasê ya Pir-Têl
-
Berhemdariya Bilind
Di her gerê de dikare 50-200 waferan bibire, windabûna kerfê <100 μm, ku karanîna materyalê heta% 40 baştir dike. Berhem 5-10 carî ji pergalên kevneşopî yên yek-têl zêdetir e. -
Kontrola Rastbûnê
Aramiya tansiyona têlan di nav ±0.5 N de li ser cûrbecûr materyalên şikestî encamên domdar misoger dike. Çavdêriya rast-dem li ser navrûyek HMI ya 10" piştgirîya hilanîna reçeteyê û xebitandina ji dûr ve dike. -
Avakirina Modular û Nerm
Ji bo pêvajoyên birrîna cûda bi qûtra têlên ji 0.12–0.45 mm re hevaheng e. Bi awayekî bijarte, destwerdana robotîk rê dide xetên hilberînê yên bi tevahî otomatîk. -
Pêbaweriya Asta Pîşesaziyê
Çarçoveyên rijandî/çêkirî yên ji bo karê giran deformasyonê (<0.01 mm) kêm dikin. Makîneyên rêber ên bi pêçandina seramîk an karbîd ji 8000 saetan zêdetir temenê xizmetê peyda dikin.
Qadên Serlêdana Makîneya Birrîna Elmasê ya Pir-Têl
-
NîvconductorsBirîna SiC ji bo modulên hêza EV, substratên GaN ji bo cîhazên 5G.
-
FotovoltaîkQutkirina wafera silîkonê ya bi leza bilind bi yekrengiya ±10 μm.
-
LED û OptîkSubstratên safîr ji bo epîtaksî û hêmanên optîkî yên rast bi çîpkirina qiraxê <20 μm.
-
Seramîkên PêşketîPêvajoykirina alumina, AlN, û materyalên wekhev ji bo pêkhateyên hewavaniyê û rêveberiya germî.
Pirs û Bersîvên Pir tên Pirsîn - Makîneya Birrîna Elmasê ya Pir-Têl
P1: Li gorî makîneyên birrîna pir-têl çi avantajên makîneyên birrîna yek-têl hene?
A: Sîstemên pir-têl dikarin di heman demê de bi dehan heta bi sedan waferan bibirrin, û bi vî awayî karîgeriyê 5-10 carî zêde dikin. Bikaranîna materyalê jî bi windabûna kerfê ya di bin 100 μm de bilindtir e, ji ber vê yekê ji bo hilberîna girseyî îdeal e.
Q2: Çi cureyên materyalan dikarin werin pêvajoy kirin?
A: Makîne ji bo materyalên hişk û şikestî hatiye çêkirin, di nav de karbîda silîkonê (SiC), safîr, nîtrîda galîyûmê (GaN), kuartz, alumîna (Al₂O₃), û nîtrîda alumînyûmê (AlN).
Q3: Rastbûna bidestxistin û kalîteya rûyê çi ye?
A: Xurîya rûberê dikare bigihêje Ra <0.5 μm, bi rastbûna pîvanan a ±0.02 mm. Şikandina qiraxan dikare heta <20 μm were kontrol kirin, li gorî standardên pîşesaziya nîvconductor û optoelektronîk.
Q4: Gelo pêvajoya birrînê dibe sedema şikestin an zirarê?
A: Bi sarincokê bi zexta bilind û kontrola tansiyonê ya çerxa girtî, xetera mîkro-çirandin û zirara ji ber stresê kêm dibe, û yekparebûna waferê ya hêja misoger dike.
