Bingeha safîrê ya bi nexş PSS 2 înç 4 înç 6 înç ICP ya hişk gravur dikare ji bo çîpên LED were bikar anîn.
Taybetmendiya sereke
1. Taybetmendiyên materyalê: Materyalê substratê safîrek yek-krîstal (Al₂O₃) ye, bi hişkbûnek bilind, berxwedana germê ya bilind û aramiya kîmyewî.
2. Avahiya rûberê: Rûber bi fotolîtografî û gravurkirina di nav avahiyên mîkro-nano yên periyodîk de, wekî kon, pîramîd an rêzikên şeşalî, tê çêkirin.
3. Performansa optîkî: Bi saya sêwirana şêwazkirina rûberê, şewqa tevahî ya ronahiyê li ser rûberê kêm dibe, û karîgeriya derxistina ronahiyê çêtir dibe.
4. Performansa germî: Substrata safîr xwedî rêjeyek germî ya hêja ye, ji bo sepanên LED-ê yên bi hêza bilind minasib e.
5. Taybetmendiyên mezinahîyê: Mezinahîyên hevpar 2 înç (50.8 mm), 4 înç (100 mm) û 6 înç (150 mm) ne.
Qadên sereke yên serîlêdanê
1. Çêkirina LED:
Karîgeriya derxistina ronahiyê ya baştirkirî: PSS bi riya sêwirana şêwazî windabûna ronahiyê kêm dike, bi girîngî geşahiya LED û karîgeriya ronîkirinê baştir dike.
Kalîteya mezinbûna epitaksiyal a baştirkirî: Avahiya bi şêwe bingehek mezinbûnê ya çêtir ji bo tebeqeyên epitaksiyal ên GaN peyda dike û performansa LED-ê baştir dike.
2. Dîyoda Lazerê (LD):
Lazerên hêza bilind: Konduktîvîteya germî ya bilind û aramiya PSS ji bo dîodên lazer ên hêza bilind minasib in, performansa belavkirina germê û pêbaweriyê baştir dikin.
Herika asta nizm: Mezinbûna epitaksiyal baştir bikin, herika asta dîyoda lazerê kêm bikin, û karîgeriyê baştir bikin.
3. Fotodetektor:
Hestiyariya bilind: Veguhestina ronahiyê ya bilind û dendika kêm a kêm a PSS hesasiyet û leza bersivê ya fotodetektorê baştir dike.
Bersiva spektral a fireh: ji bo tespîtkirina fotoelektrîkî di rêza ultraviyole heta xuya de guncan e.
4. Elektronîkên hêzê:
Berxwedana voltaja bilind: Îzolekirina bilind û aramiya germî ya safîrê ji bo cîhazên hêza voltaja bilind guncan e.
Belavbûna germê ya bi bandor: Germbûna bilind performansa belavkirina germê ya cîhazên hêzê baştir dike û temenê kar dirêj dike.
5. Amûrên Rf:
Performansa frekansa bilind: Windabûna dielektrîkê ya kêm û aramiya germî ya bilind a PSS ji bo cîhazên RF-ya frekansa bilind minasib in.
Dengê kêm: Dengê bilind û dendika kêm a kêm dengê cîhazê kêm dike û kalîteya sînyalê baştir dike.
6. Biyosensor:
Tesbîtkirina hesasiyeta bilind: Veguhestina ronahiyê ya bilind û aramiya kîmyewî ya PSS ji bo bîyosensorên hesasiyeta bilind guncan in.
Biyohevhatinî: Biyohevhatiniya safîrê wê ji bo serîlêdanên bijîşkî û biyodetektinê guncan dike.
Substrata safîrê ya bi nexş (PSS) bi materyalê epitaksiyal ê GaN:
Substrata safîrê ya bi şêwe (PSS) ji bo mezinbûna epitaksiyal a GaN (galyum nitride) substratek îdeal e. Sabîta torê ya safîrê nêzîkî GaN e, ku dikare nelihevhatinên torê û kêmasiyên di mezinbûna epitaksiyal de kêm bike. Avahiya mîkro-nano ya rûyê PSS ne tenê karîgeriya derxistina ronahiyê baştir dike, lê di heman demê de kalîteya krîstal a qata epitaksiyal a GaN jî baştir dike, bi vî rengî performans û pêbaweriya LED-ê baştir dike.
Parametreyên teknîkî
| Şanî | Bingeha Safîrê ya bi Nimûne (2~6 înç) | ||
| Çap | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| Qewîtî | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Rêzkirina Rûyê | Balafirgeha C (0001) ji goşeya ber bi eksena M ve (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| Balafirgeha C (0001) ji goşeyê ber bi eksena A (11-20) ve ne 0 ± 0.1° | |||
| Rêzkirina Sereke ya Düz | A-Plane (11-20) ± 1.0° | ||
| Dirêjahiya sereke ya dûz | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| R-Plane | Saet 9 | ||
| Dawîkirina Rûyê Pêşiyê | Bi şêwaz | ||
| Dawîkirina Rûyê Paşîn | SSP: Erdê zirav, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi-polîşkirî, Ra<0.3nm | ||
| Nîşana Lazerê | Aliyê paşîn | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| GIRÊK | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Derxistina Qiraxê | ≤2 mm | ||
| Taybetmendiya Şablonê | Şêweya Avahiyan | Qubbe, Kon, Pîramîd | |
| Bilindahiya Nimûneyê | 1.6~1.8μm | ||
| Dirêjahiya Nimûneyê | 2.75~2.85μm | ||
| Cihê Nimûneyê | 0.1~0.3μm | ||
XKH pispor e di dabînkirina substratên safîr ên bi şêwazên xwerû (PSS) ên bi kalîte û bilind, bi piştgiriya teknîkî û karûbarê piştî firotanê re da ku alîkariya xerîdaran bike ku di warê LED, dîmender û optoelektronîkê de nûjeniyek bi bandor bi dest bixin.
1. Pêşkêşkirina PSS ya bi kalîte: Substratên safîrê yên bi şêwaz di cûrbecûr mezinahîyan de (2 ", 4 ", 6 ") ji bo pêkanîna hewcedariyên cîhazên LED, dîmender û optoelektronîk.
2. Sêwirana xwerû: Li gorî hewcedariyên xerîdar, avahiya mîkro-nano ya rûyê (wek kon, pîramîd an rêza şeşalî) xweş bike da ku karîgeriya derxistina ronahiyê baştir bike.
3. Piştgiriya teknîkî: Sêwirana serîlêdana PSS, çêtirkirina pêvajoyê û şêwirmendiya teknîkî peyda bikin da ku alîkariya xerîdaran bikin ku performansa hilberê baştir bikin.
4. Piştgiriya mezinbûna epitaksiyal: PSS ya ku bi materyalê epitaksiyal ê GaN re hevaheng e tê peyda kirin da ku mezinbûna qata epitaksiyal a bi kalîte bilind misoger bike.
5. Ceribandin û pejirandin: Rapora teftîşa kalîteya PSS peyda bikin da ku piştrast bikin ku hilber li gorî standardên pîşesaziyê ne.
Diyagrama Berfireh
