SiC wafer 4H-N 6H-N HPSI 4H-nîv 6H-nîv 4H-P 6H-P 3C type 2inch 3inch 4inch 6inch 8inch
Taybetmendî
4H-N û 6H-N (Waflên SiC yên tîpa N)
Bikaranînî:Bi giranî di elektronîkên hêzê, optoelektronîk û sepanên germahiya bilind de tê bikar anîn.
Rêzeya Diameterê:50.8 mm heta 200 mm.
Qewîtî:350 μm ± 25 μm, bi qalindahiyên vebijarkî yên 500 μm ± 25 μm.
Berxwedan:Tîpa-N 4H/6H-P: ≤ 0.1 Ω·cm (pola-Z), ≤ 0.3 Ω·cm (pola-P); Tîpa-N 3C-N: ≤ 0.8 mΩ·cm (pola-Z), ≤ 1 mΩ·cm (pola-P).
Nermî:Ra ≤ 0.2 nm (CMP an MP).
Tîrbûna Mîkroboriyê (MPD):< 1 yek/cm².
TTV: ≤ 10 μm ji bo hemî diameteran.
Warp: ≤ 30 μm (≤ 45 μm ji bo waflên 8 înç).
Derxistina Qiraxê:3 mm heta 6 mm, li gorî celebê waflê.
Pakkirin:Kaseta pir-wafer an jî konteynera waferê ya yekane.
Mezinahiyên din jî hene 3 înç 4 înç 6 înç 8 înç
HPSI (Waflên SiC yên Nîv-Îzoleker ên Paqijiya Bilind)
Bikaranînî:Ji bo cîhazên ku berxwedanek bilind û performansa stabîl hewce dikin, wekî cîhazên RF, sepanên fotonîk û sensoran tê bikar anîn.
Rêzeya Diameterê:50.8 mm heta 200 mm.
Qewîtî:Qalindahiya standard 350 μm ± 25 μm bi vebijarkên ji bo waflên stûrtir heta 500 μm.
Nermî:Ra ≤ 0.2 nm.
Tîrbûna Mîkroboriyê (MPD): ≤ 1 yek/cm².
Berxwedan:Berxwedana bilind, bi gelemperî di sepanên nîv-îzolekirinê de tê bikar anîn.
Warp: ≤ 30 μm (ji bo mezinahiyên biçûktir), ≤ 45 μm ji bo qûtra mezintir.
TTV: ≤ 10 μm.
Mezinahiyên din jî hene 3 înç 4 înç 6 înç 8 înç
4H-Pقوتابة6H-P&3C Wafera SiC(Waflên SiC yên tîpa P)
Bikaranînî:Bi taybetî ji bo cîhazên hêz û frekanseke bilind.
Rêzeya Diameterê:50.8 mm heta 200 mm.
Qewîtî:350 μm ± 25 μm an vebijarkên xwerû.
Berxwedan:Tîpa-P 4H/6H-P: ≤ 0.1 Ω·cm (pola-Z), ≤ 0.3 Ω·cm (pola-P).
Nermî:Ra ≤ 0.2 nm (CMP an MP).
Tîrbûna Mîkroboriyê (MPD):< 1 yek/cm².
TTV: ≤ 10 μm.
Derxistina Qiraxê:Ji 3 mm heta 6 mm.
Warp: ≤ 30 μm ji bo mezinahiyên biçûktir, ≤ 45 μm ji bo mezinahiyên mezintir.
Mezinahiyên din jî hene 3 înç 4 înç 6 înç5×5 10×10
Tabloya Parametreyên Daneyên Qismî
Mal | 2 înç | 3 înç | 4 înç | 6 înç | 8 înç | |||
Awa | 4H-N/HPSI/ | 4H-N/HPSI/ | 4H-N/HPSI//4H/6H-P/3C; | 4H-N/HPSI//4H/6H-P/3C; | 4H-N/HPSI/4H-NÎV | |||
Çap | 50.8 ± 0.3 mm | 76.2±0.3mm | 100±0.3mm | 150±0.3mm | 200 ± 0.3 mm | |||
Qewîtî | 330 ± 25 um | 350 ± 25 um | 350 ± 25 um | 350 ± 25 um | 350 ± 25 um | |||
350±25um; | 500±25um | 500±25um | 500±25um | 500±25um | ||||
an jî xwerûkirî | an jî xwerûkirî | an jî xwerûkirî | an jî xwerûkirî | an jî xwerûkirî | ||||
Nermî | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | |||
Warp | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤45um | |||
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | |||
Xurandin/Kolandin | CMP/MP | |||||||
MPD | <1 yek/cm-2 | <1 yek/cm-2 | <1 yek/cm-2 | <1 yek/cm-2 | <1 yek/cm-2 | |||
Cins | Gur, Düz 16mm; JI dirêjahiya 22mm; JI dirêjahiya 30/32.5mm; JI dirêjahiya 47.5mm; NOTCH; NOTCH; | |||||||
Bevel | 45°, Taybetmendiya NÎV; Şêweya C | |||||||
Sinif | Asta hilberînê ji bo MOS&SBD; Asta Lêkolînê; Asta sexte, Asta wafla tovê | |||||||
Têbînî | Qûtre, stûrî, arastekirin, taybetmendiyên jorîn dikarin li ser daxwaza we werin xweş kirin |
Serlêdan
·Elektronîkên Hêzê
Waflên SiC yên cureya N di cîhazên elektronîkî yên hêzê de ji ber ku dikarin voltaja bilind û herikîna bilind birêve bibin pir girîng in. Ew bi gelemperî di veguherînerên hêzê, înverteran û ajokarên motorê de ji bo pîşesaziyên wekî enerjiya nûjenkirî, wesayîtên elektrîkê û otomasyona pîşesaziyê têne bikar anîn.
· Optoelektronîk
Materyalên SiC yên cureya N, bi taybetî ji bo sepanên optoelektronîkî, di cîhazên wekî dîodên ronahîder (LED) û dîodên lazer de têne bikar anîn. Germahiya wan a bilind û valahiya wan a fireh wan ji bo cîhazên optoelektronîkî yên performansa bilind îdeal dike.
·Serlêdanên Germahiya Bilind
Waflên SiC yên 4H-N 6H-N ji bo jîngehên germahiya bilind, wek mînak di sensor û cîhazên hêzê de yên ku di sepanên hewavanî, otomatîv û pîşesaziyê de têne bikar anîn, li wir belavbûna germê û aramiya di germahiyên bilind de pir girîng in, pir guncan in.
·Amûrên RF
Waflên SiC yên 4H-N 6H-N di cîhazên frekansa radyoyê (RF) de têne bikar anîn ku di rêzeyên frekansa bilind de dixebitin. Ew di pergalên ragihandinê, teknolojiya radarê û ragihandinên satelîtê de têne bikar anîn, ku li wir karîgeriya hêzê û performansa bilind hewce ne.
·Serlêdanên Fotonîk
Di fotonîkê de, waflên SiC ji bo cîhazên wekî fotodetektor û modulatoran têne bikar anîn. Taybetmendiyên bêhempa yên materyalê dihêle ku ew di hilberandina ronahiyê, modûlasyon û tespîtkirinê de di pergalên ragihandinê yên optîkî û cîhazên wênekirinê de bi bandor be.
·Sensor
Waflên SiC di cûrbecûr sepanên sensoran de têne bikar anîn, nemaze di hawîrdorên dijwar de ku materyalên din dikarin têk biçin. Ev sensorên germahî, zext û kîmyewî dihewîne, ku di warên wekî otomatîv, petrol û gazê, û çavdêriya jîngehê de girîng in.
·Sîstemên Ajotina Wesayîtên Elektrîkî
Teknolojiya SiC di wesayîtên elektrîkê de bi baştirkirina karîgerî û performansa pergalên ajotinê roleke girîng dilîze. Bi nîvconductorên hêza SiC re, wesayîtên elektrîkê dikarin temenê bateriyê çêtir, demên şarjkirinê zûtir û karîgeriya enerjiyê ya mezintir bi dest bixin.
·Sensorên Pêşketî û Veguherînerên Fotonîk
Di teknolojiyên sensorên pêşketî de, waflên SiC ji bo çêkirina sensorên rastbûna bilind ji bo sepanên di robotîk, amûrên bijîşkî û çavdêriya jîngehê de têne bikar anîn. Di veguherînerên fotonîk de, taybetmendiyên SiC têne bikar anîn da ku veguherîna bi bandor a enerjiya elektrîkê bo sînyalên optîkî gengaz bikin, ku di binesaziya telekomunîkasyon û înterneta bilez de pir girîng e.
Pirs û Bersîv
Q:4H di 4H SiC de çi ye?
A"4H" di 4H SiC de behsa avahiya krîstal a karbîda silîkonê dike, bi taybetî şêweyekî şeşalî bi çar tebeqeyan (H). "H" cureyê polîtîpa şeşalî nîşan dide, ku wê ji polîtîpên din ên SiC yên wekî 6H an 3C cuda dike.
Q:Guhêrbariya germî ya 4H-SiC çi ye?
AGermahiya 4H-SiC (Sîlîkon Karbîd) di germahiya odeyê de bi qasî 490-500 W/m·K ye. Ev germahiya bilind wê ji bo sepanên di elektronîkên hêzê û jîngehên germahiya bilind de îdeal dike, ku belavkirina germê ya bi bandor pir girîng e.